[发明专利]一种用于晶圆搬运的夹持装置

权利要求书

1.一种用于晶圆搬运的夹持装置，其特征在于，包括机械臂和夹持基板，所述夹持基板中包含有两个晶圆放置位，所述夹持基板包括位于前端的第一挡块和第二挡块，以及位于后端的第一支撑块和第二支撑块，其中，第一挡块和第一支撑块均为开口朝向第一晶圆放置位的L型结构，且第一挡块和第一支撑块的底面位于第一水平面内；第二挡块和第二支撑块均为开口朝向第二晶圆放置位的L型结构，且第二挡块和第二支撑块的底面位于第二水平面内，第一水平面和第二水平面不重合。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆搬运的夹持装置，其特征在于，所述第一挡块至少为两个，所述第二挡块至少为两个，所述第一支撑块至少为两个，所述第二支撑块至少为两个，所述第一支撑块与第一挡块相对设置，所述第二支撑块与第二挡块相对设置。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆搬运的夹持装置，其特征在于，所述夹持基板的前端设置有三个手指，其中，左侧手指设置有第一挡块，右侧手指设置有第二挡块；中间手指靠近左侧手指的一端设置有第一挡块，中间手指靠近右侧手指的一端设置有第二挡块。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆搬运的夹持装置，其特征在于，所述第二挡块和第二支撑块围成圆心与第二晶圆放置位重合的圆形，所述第一挡块和第一支撑块围成圆心与第一晶圆放置位重合的圆形。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆搬运的夹持装置，其特征在于，还包括紧固组件，所述紧固组件包括滑轨、气缸和推杆，所述推杆在气缸的驱动下能够沿着滑轨朝向靠近或者远离夹持基板的方向滑动，所述推杆上设置有能够与晶圆放置位上的晶圆抵接的紧固柱。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆搬运的夹持装置，其特征在于，所述紧固组件还包括气管和调速阀，所述气管通过调速阀连接至所述气缸。

7.根据权利要求5所述的一种用于晶圆搬运的夹持装置，其特征在于，所述推杆通过推杆连接件连接至气缸的输出端。

8.根据权利要求5所述的一种用于晶圆搬运的夹持装置，其特征在于，还包括晶圆检测组件，所述晶圆检测组件包括遮光板和传感器，所述遮光板与气缸的输出端固定连接，所述传感器包括发射端和接收端，且所述发射端和接收端之间设置有凹槽，所述遮光板在所述气缸的带动下能够朝着靠近或者凹槽的方向移动。

9.根据权利要求5所述的一种用于晶圆搬运的夹持装置，其特征在于，所述夹持基板中第一支撑块和第二支撑块的侧边均设置有缺口，所述推杆靠近手指的一端设置有与所述缺口相适配的紧固件，所述紧固件中设置有与晶圆放置位对应的紧固柱。

10.根据权利要求1所述的一种用于晶圆搬运的夹持装置，其特征在于，所述夹持基板为水平且平行设置的M层；M为大于0的整数。