[实用新型]电镀液自动滴定装置

说明书

本实用新型公开了一种电镀液自动滴定装置，包括：底座、升降塔、送检组件、滴定组件和自动抽液组件，底座的一侧设有升降塔，底座的另一侧与升降塔并列设置送检组件，升降塔的顶部固定设置滴定组件、加液管路和出液管路，自动抽液组件与加液管路和出液管路连通，升降塔上设有上下移动的升降托盘，升降托盘将所述送检组件上的样品移动至滴定组件、加液管路和出液管路下方，本实用新型提供了一种冲洗管路、加液管路、排液管路、搅拌桨、电极等固定位置不易损坏，样品托盘模块化、方便清洁，自动补水、排废减少人力消耗的电镀液自动滴定装置。

技术领域

本实用新型涉及半导体封装技术领域，更具体涉及一种电镀液自动滴定装置。

背景技术

在半导体电镀工艺中需要对电镀液的成分进行取样分析，对电镀液成分的分析需要依赖电位滴定仪进行监测。

现有的电位滴定仪是将样品取好并稀释后放入转盘，冲洗管路、加液管路、排液管路、搅拌桨、电极等固定在升降塔上。工作时，先上升升降塔位置至最高处，再转动转盘到指定位置，再下降升降塔至工作位置之后开始滴定工作。

升降塔上固定的电极线、管路，在长期升降的过程中，会造成电极和加液管的松动，甚至会有加液管插到样品杯外的情况，和电极线过于绷紧造成损坏。

滴定结束后，先通过蠕动泵将样品杯中的废液抽出，再用电泵抽水对样品杯、电极、加液管路、搅拌桨等进线冲洗，重复几次冲洗、排废的操作后再转至下一个样品进行滴定分析。

水和废液是装在两个10L的桶中的，需要人工加水和处理废液，当该电位滴定仪分析样品过多时，会消耗大量水清洗，产生大量的废液。如果没有人注意加水和处理废液，会导致废液漫出，水用完后没有水清洗，影响下一个样品的分析结果。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型的目的在于提供了一种冲洗管路、加液管路、排液管路、搅拌桨、电极等固定位置不易损坏，样品托盘模块化、方便清洁，自动补水、排废减少人力消耗的电镀液自动滴定装置。

根据本实用新型的一个方面，提供了电镀液自动滴定装置，包括：底座、升降塔、送检组件、滴定组件和自动抽液组件，底座的一侧设有升降塔，底座的另一侧与升降塔并列设置送检组件，升降塔的顶部固定设置滴定组件、加液管路和出液管路，自动抽液组件与加液管路和出液管路连通，升降塔上设有上下移动的升降托盘，升降托盘将所述送检组件上的样品移动至滴定组件、加液管路和出液管路下方。通过样品杯移动而滴定组件、加液管路和出液管路不动，在检测时搅拌桨、电极等固定位置而不易损坏；通过模块化的送检组件便于清洁和移动；通过自动抽液组件实现补水和废液的自动清理降低工作强度。

在一些实施方式中，送检组件包括：转盘、样品托盘和样品杯，转盘上设有若干样品托盘，样品杯放置在样品托盘上，转盘驱动样品托盘和样品杯转动。通过转盘将需要检验的样品一侧旋转到升降托盘所在位置，以便进行规模化检验。

在一些实施方式中，样品杯的数量与样品托盘的数量一致。

在一些实施方式中，升降托盘的尖部为梯形，转盘中间具有若干规则分布的间隙，尖部从间隙处托起样品托盘和样品杯至至滴定组件、加液管路和出液管路下方。通过间隙与梯形尖部的配合保证升降托盘把样品托盘和样品杯移动至检验位置。

在一些实施方式中，出液管路位于样品杯内侧底部，加液管路位于样品杯内侧顶部。出液管路和加液管路的位置便于更好的冲洗排出废液。

在一些实施方式中，自动抽液组件包括：补水部和废液部，废液部连通出液管路，补水部连通进液管路，出液管路和进液管路中均具有蠕动泵。利用补水部进行样品杯的冲洗，利用出液管路将废液排到废液部。