[实用新型]电镀液自动滴定装置有效

专利信息
申请号: 202223606117.3 申请日: 2022-12-31
公开(公告)号: CN219302378U 公开(公告)日: 2023-07-04
发明(设计)人: 许艳林;秦芹 申请(专利权)人: 江苏芯德半导体科技有限公司
主分类号: G01N31/16 分类号: G01N31/16;G01N27/416
代理公司: 无锡华越知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32571 代理人: 王少卿
地址: 210000 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 电镀 自动 滴定 装置
【权利要求书】:

1.电镀液自动滴定装置,其特征在于,包括:底座、升降塔、送检组件、滴定组件和自动抽液组件,所述底座的一侧设有升降塔,所述底座的另一侧与升降塔并列设置送检组件,所述升降塔的顶部固定设置滴定组件、加液管路和出液管路,所述自动抽液组件与加液管路和出液管路连通,所述升降塔上设有上下移动的升降托盘,所述升降托盘将所述送检组件上的样品移动至滴定组件、加液管路和出液管路下方。

2.根据权利要求1所述的电镀液自动滴定装置,其特征在于,所述送检组件包括:转盘、样品托盘和样品杯,所述转盘上设有若干样品托盘,所述样品杯放置在样品托盘上,所述转盘驱动样品托盘和样品杯转动。

3.根据权利要求2所述的电镀液自动滴定装置,其特征在于,所述样品杯的数量与样品托盘的数量一致。

4.根据权利要求3所述的电镀液自动滴定装置,其特征在于,所述升降托盘的尖部为梯形,所述转盘中间具有若干规则分布的间隙,所述尖部从间隙处托起样品托盘和样品杯至至滴定组件、加液管路和出液管路下方。

5.根据权利要求4所述的电镀液自动滴定装置,其特征在于,所述出液管路位于样品杯内侧底部,所述加液管路位于样品杯内侧顶部。

6.根据权利要求1所述的电镀液自动滴定装置,其特征在于,所述自动抽液组件包括:补水部和废液部,所述废液部连通出液管路,所述补水部连通进液管路,所述出液管路和进液管路中均具有蠕动泵。

7.根据权利要求6所述的电镀液自动滴定装置,其特征在于,所述补水部包括:储液罐、加液泵、第一管路、第二管路、第一液位传感器和第二液位传感器,所述加液泵设置在储液罐内部或者外部,所述第一管路和第二管路均连接加液泵,所述第一液位传感器位于储液罐的下部,所述第二液位传感器位于储液罐的上部。

8.根据权利要求7所述的电镀液自动滴定装置,其特征在于,所述废液部包括:废液罐、出液泵、第三管路和第三液位传感器,所述出液泵设置在废液罐内部或者外部,所述第三管路连接加液泵,所述第一液位传感器位于废液罐的上部。

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