[实用新型]一种晶舟夹具

说明书

本实用新型涉及一种晶舟夹具，属于夹持设备技术领域。为解决现有晶舟夹具夹爪行程不易控制，易对晶舟造成损坏，夹爪夹持稳定性差的问题。本申请包括夹具安装板、动力装置、夹爪和感应装置；动力装置固定安装于夹具安装板，动力端与夹爪固定连接；感应装置包括位置传感器组件和行程传感器组件；夹爪在动力装置的动力端的驱动下做相向或背向运动；位置传感器组件固定安装于所述夹爪；行程传感器组件安装于夹具安装板，且其位于夹爪的运动轨迹内。本申请的晶舟夹具整体结构简单，两个夹爪通过一个移动电机进行驱动，生产成本低，安装和调试便捷，生产效率高。同时本申请的夹爪本体设有夹持卡槽，与晶舟能有效卡接，夹持稳定性高。

技术领域

本申请涉及一种晶舟夹具，属于夹持设备技术领域。

背景技术

随着国内半导体行业的发展及集成电路代工厂自动化程度的提高，晶舟自动装载设备在集成电路装备上的使用范围越来越广。对晶舟自动装载设备的自动化性能、速度、可靠性、稳定性、安全性要求越来越高，对成本降低的要求也相应提高。晶舟在半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，其内部可以容纳晶圆，而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器并可放至晶圆盒内，是一种专属于晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器。

在生产过程中，现有技术中一般采用人工进行晶舟的搬取，或放入手推车，对其精细附加定位，然后推到放料工位进行上下料，整个搬放过程需要轻拿轻放，对操作人员的技能要求很高，而且效率低下，同时人工拿取存在损伤或掉落，造成效益损失。

随着工业机器人的发展和劳动了成本的上升，行业对自动化生产制造的需求也越来越高，利用夹具对晶舟进行夹持转运工作。其中现有夹具在对晶舟进行夹持时，对于不同尺寸的晶舟存在夹爪行程无法精准控制，容易对晶舟造成夹持过度或夹持不足的情况，都会对晶舟造成损坏。虽可采用伺服电机进行夹爪行程的精确控制，但伺服电机会导致生产成本的上升。同时不同种类的晶舟因外形形状不同，现有夹具不能做到有效夹持，夹持稳定性低，在移送过程中，造成晶舟晃动或掉落的情况，因此亟需一种晶舟夹具来解决上述问题。

实用新型内容

对现有技术中存在的问题与不足，本申请提供一种晶舟夹具，旨在解决目前存在的技术问题。

为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种晶舟夹具，包括夹具安装板、动力装置、夹爪和感应装置；动力装置固定安装于夹具安装板，且其动力端与夹爪固定连接；感应装置包括位置传感器组件和行程传感器组件；夹爪在动力装置的动力端的驱动下做相向或背向运动；位置传感器组件固定安装于夹爪；行程传感器组件安装于夹具安装板，且其位于夹爪的运动轨迹内。

具体的，夹具安装板的上侧设有安装孔，用于连接移送机构；下侧安装有动力装置。

具体的，动力装置包括移动电机和两个夹爪支架；移动电机固定安装于夹具安装板，且移动电机的一侧设有滑槽；两个夹爪支架滑动安装于滑槽，且两个夹爪支架分别与移动电机的动力端固定连接。

具体的，夹爪包括两个夹爪连接板和两个夹爪本体；两个夹爪连接板的一侧分别与两个夹爪支架固定连接，且两个夹爪连接板相对平行设置；两个夹爪本体分别固定安装于两个夹爪连接板的相对内侧。

具体的，两个夹爪本体相对设置，且两个夹爪相对的内侧分别设有与晶舟形状相适配的夹持卡槽。

具体的，位置传感器组件包括夹持位置传感器和夹持到位传感器；夹持位置传感器固定安装于夹爪本体；夹持到位传感器固定安装于夹爪本体，且其感应端位于夹持卡槽槽内。

具体的，夹持位置传感器为对射传感器，且数量为两组；两组对射传感器分别固定安装于夹爪本体的外侧，且其感应端分别穿过两个夹爪本体的相对内侧。

具体的，夹持到位传感器为接触式传感器，且数量为两个；两个接触式传感器固定安装于夹持卡槽所在位置的夹爪本体，且其感应端朝夹持卡槽方向延伸，并延伸至夹持卡槽槽内。