[实用新型]一种晶舟夹具

权利要求书

1.一种晶舟夹具，包括夹具安装板、动力装置、夹爪和感应装置；其特征在于：所述动力装置固定安装于夹具安装板，且其动力端与所述夹爪固定连接；所述感应装置包括位置传感器组件和行程传感器组件；所述夹爪在动力装置的动力端的驱动下做相向或背向运动；所述位置传感器组件固定安装于所述夹爪；所述行程传感器组件安装于所述夹具安装板，且其位于夹爪的运动轨迹内。

2.根据权利要求1所述的一种晶舟夹具，其特征在于：所述夹具安装板的上侧设有安装孔，用于连接移送机构；下侧安装有所述动力装置。

3.根据权利要求2所述的一种晶舟夹具，其特征在于：所述动力装置包括移动电机和两个夹爪支架；所述移动电机固定安装于夹具安装板，且移动电机的一侧设有滑槽；两个所述夹爪支架滑动安装于所述滑槽，且两个夹爪支架分别与所述移动电机的动力端固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶舟夹具，其特征在于：所述夹爪包括两个夹爪连接板和两个夹爪本体；两个所述夹爪连接板的一侧分别与两个夹爪支架固定连接，且两个夹爪连接板相对平行设置；两个所述夹爪本体分别固定安装于两个夹爪连接板的相对内侧。

5.根据权利要求4所述的一种晶舟夹具，其特征在于：两个所述夹爪本体相对设置，且两个夹爪相对的内侧分别设有与晶舟形状相适配的夹持卡槽。

6.根据权利要求5所述的一种晶舟夹具，其特征在于：所述位置传感器组件包括夹持位置传感器和夹持到位传感器；所述夹持位置传感器固定安装于夹爪本体；所述夹持到位传感器固定安装于夹爪本体，且其感应端位于所述夹持卡槽槽内。

7.根据权利要求6所述的一种晶舟夹具，其特征在于：所述夹持位置传感器为对射传感器，且数量为两组；两组所述对射传感器分别固定安装于夹爪本体的外侧，且其感应端分别穿过两个夹爪本体的相对内侧。

8.根据权利要求6所述的一种晶舟夹具，其特征在于：所述夹持到位传感器为接触式传感器，且数量为两个；两个所述接触式传感器固定安装于夹持卡槽所在位置的夹爪本体，且其感应端朝夹持卡槽方向延伸，并延伸至夹持卡槽槽内。

9.根据权利要求2所述的一种晶舟夹具，其特征在于：所述行程传感器组件包括两个安装架和两个行程限位传感器；两个所述安装架分别固定安装于夹具安装板的两侧；两个所述行程限位传感器分别安装于安装架；所述行程限位传感器与所述夹爪一一对应设置，且行程限位传感器位于夹爪的运动轨迹内。