[实用新型]一种药段腔室及剥离设备

说明书

本实用新型涉及半导体技术领域，具体公开了一种药段腔室及剥离设备。该药段腔室包括腔室本体、传输机构和导向机构；传输机构设于腔室本体内，用于支撑并沿第一方向传输基板；其中，导向机构包括驱动电机、传输组件和导向轮，驱动电机设于腔室本体上，驱动电机的驱动端连接传输组件的一端，传输组件的另一端连接导向轮，驱动电机能够驱动传输组件以带动导向轮旋转，且导向轮沿第二方向抵接于基板的侧边。本实用新型在传输机构传输基板的基础上，还能够通过导向轮提高对基板的搬送力，避免基板在搬送过程中出现打滑现象，以此减少压轮的使用，降低基板发生破片的概率，并降低了产品的生产成本，减少药段腔室异常状况，提高药段腔室的使用率。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种药段腔室及剥离设备。

背景技术

在半导体领域中，为了在基片上获得期望的图案化的目标覆层，例如导电层，以便形成图形电极，需要对具有已涂覆导电层的基片进行处理，以去除多余的导电层，其中，导电层例如为金属层，其可由铝、钛、铜、钽等金属形成。一种已知的途经是采用剥离设备，其利用剥离药液溶解施加在基板上的光刻胶，从而去除位于光刻胶上的不需要的导电层，最终得到想要的导电图形。

现有的剥离设备中，用于剥离使用的药液会具有油的流动性，使得基板在搬送过程中会出现打滑、搬送力不足的情况，目前的方法是在剥离设备内追加压轮，多个压轮能够对基板进行下压以防止打滑，但压轮与基板之间的间距调整困难，出现误差后会导致基板撞击压轮而发生破片现象，进而增加了产品的生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种药段腔室及剥离设备，以解决现有技术中压轮与基板之间的间距调整困难，出现误差后会导致基板撞击压轮而发生破片现象，进而增加了产品的生产成本的问题。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一方面，本实用新型提供一种药段腔室，该药段腔室包括：

腔室本体；

传输机构，上述传输机构设于上述腔室本体内，用于支撑并沿第一方向传输基板；

导向机构，上述导向机构包括驱动电机、传输组件和导向轮，上述驱动电机设于上述腔室本体上；上述驱动电机的驱动端连接上述传输组件的一端，上述传输组件的另一端连接上述导向轮；上述驱动电机能够驱动上述传输组件以带动上述导向轮旋转；上述导向轮沿第二方向抵接于上述基板的侧边，用于沿上述第一方向对上述基板进行导向传输。

作为上述药段腔室的一种可选方案，上述传输组件包括主动轴、主动齿轮、从动轴和从动齿轮；上述主动轴连接于上述驱动电机的驱动端，上述主动齿轮连接于上述主动轴，上述从动轴连接于上述导向轮，上述从动齿轮连接于上述从动轴；上述主动齿轮与上述从动齿轮相啮合，以使上述主动轴能够带动上述从动轴旋转。

作为上述药段腔室的一种可选方案，上述传输组件还包括第一联轴器和第二联轴器，上述主动轴与上述驱动电机的驱动端通过上述第一联轴器相连，上述从动轴与上述导向轮通过上述第二联轴器相连。

作为上述药段腔室的一种可选方案，上述主动齿轮、上述从动轴、上述从动齿轮和上述导向轮均设置有多个，多个述主动齿轮、多个上述从动轴、多个上述从动齿轮均分别和多个上述导向轮一一对应设置。

作为上述药段腔室的一种可选方案，多个上述导向轮沿上述第一方向均匀间隔设置。

作为上述药段腔室的一种可选方案，上述导向机构设置有两个，两个上述导向机构沿上述第二方向分别设于上述基板的两侧。

作为上述药段腔室的一种可选方案，上述传输机构相对于水平面倾斜设置，以使上述基板与上述水平面之间沿上述第二方向形成夹角。

作为上述药段腔室的一种可选方案，上述基板与上述水平面之间沿上述第二方向形成夹角的角度范围为4°～6°。