[实用新型]一种MEMS油气回收流量计

说明书

本实用新型公开了一种MEMS油气回收流量计，包括基座、涡流发生体和传感器，基座上固定设置有指向标，基座中设有贯通的通道构成流量管道，流量管道两端分别为进气口和出气口，流量管道侧壁上设有形状与涡流发生体和传感器分别相配的涡流发生体容腔和传感器容腔，传感器容腔处于涡流发生体容腔的下游，涡流发生体容腔和传感器容腔的一端端口与流量管道相通另一端端口延伸至线路板容腔，涡流发生体和传感器分别固定设置在涡流发生体容腔和传感器容腔中，基座上方设有均匀排列的槽口，槽口内部固定有螺栓，基座上方中间设有显示屏；本一种MEMS油气回收流量计具有耐温效果较好、测量精度好的优点。

技术领域

本实用新型涉及流量计技术领域，具体为一种MEMS油气回收流量计。

背景技术

计量是工业生产的眼睛。流量计是计量科学技术的组成部分之一，它与国民经济、国防建设、科学研究有密切的关系，做好这一工作，对保证产品质量、提高生产效率、促进科学技术的发展都具有重要的作用，特别是在能源危机、工业生产自动化程度愈来愈高的当今时代，流量计在国民经济中的地位与作用更加明显，涡街流量计是根据卡门(Karman)涡街原理研究生产的测量气体、蒸汽或液体的体积流量、标况的体积流量或质量流量的体积流量计，涡街流量计制造时都是将涡流发生体直接注塑或粘接或焊接在测量管内，注塑或粘接或焊接时涡流发生体的位置难以精确定位且涡流发生体周边流量管道的管体线性度差，旋涡幅度弱，传感器检测不到信号，造成流量计性能差，测量精度低，而且现有的MEMS流量计具有成本低的优点，但耐温较劣，应用场景比较单一，为此，我们提出一种MEMS油气回收流量计。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种MEMS油气回收流量计具有耐温效果较好、测量精度好的优点，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种MEMS油气回收流量计，包括基座、涡流发生体和传感器，所述基座上固定设置有指向标，所述基座中设有贯通的通道构成流量管道，所述流量管道两端分别为进气口和出气口，所述流量管道侧壁上设有形状与涡流发生体和传感器分别相配的涡流发生体容腔和传感器容腔，所述传感器容腔处于涡流发生体容腔的下游，所述涡流发生体容腔和传感器容腔的一端端口与所述流量管道相通，另一端端口延伸至线路板容腔，所述涡流发生体和传感器分别固定设置在涡流发生体容腔和传感器容腔中，所述基座上方设有均匀排列的槽口，所述槽口内部固定有螺栓，所述基座上方中间设有显示屏。

优选的，所述基座后方设有管道，所述管道前方表面固定有螺母。

优选的，所述传感器主体为柱形，在传感器柱面的轴向位置设有由环形凸筋构成的限位机构，用于限制所述传感器的插入深度，在所述线路板容腔底部传感器容腔端口的一侧设有定位凸起，所述传感器的环形凸筋上设有与定位凸起相配的定位孔，所述定位凸起配合在定位孔中对所述传感器的方向起到定位作用，MEMS技术将热扩散原理应用至微米尺度，使得传感器灵敏度更高。

优选的，所述基座一侧设置有锚孔，所述锚孔内部设有螺纹，用以与其他设备连接，所述指向标为黑色标签，贴在基座表面。

优选的，所述基座内部设有流量传感器、信号处理模块、输出模块三个部分，流量传感器采用CMOS半导体工艺制成的MEMS微机电传感器，输出模块可以实时测量流量并输出流量相关信息。

优选的，所述基座上端还设有凹腔构成线路板容腔，所述传感器容腔另一端端口设置在线路板容腔的底部，所述涡流发生体容腔另一端端口设置在所述基座的底部，所述线路板容腔中设置有检测线路板，所述线路板容腔配设有盖板，所述检测线路板上设有调节电位器，所述盖板上与所述调节电位器对应位置设有调节孔，所述调节孔中可旋转地设有调节钮与所述调节电位器相匹配。

优选的，所述基座整体呈矩形体，所述线路板容腔也呈矩形体，所述基座一体式结构，选用金属材质。