[实用新型]一种MEMS油气回收流量计

权利要求书

1.一种MEMS油气回收流量计，包括基座（1）、涡流发生体（11）和传感器（12），其特征在于：所述基座（1）上固定设置有指向标（2），所述基座（1）中设有贯通的通道构成流量管道（10），所述流量管道（10）两端分别为进气口（3）和出气口（4），所述流量管道（10）侧壁上设有形状与涡流发生体（11）和传感器（12）分别相配的涡流发生体容腔（13）和传感器容腔（14），所述传感器容腔（14）处于涡流发生体容腔（13）的下游，所述涡流发生体容腔（13）和传感器容腔（14）的一端端口与所述流量管道（10）相通，另一端端口延伸至线路板容腔（17），所述涡流发生体（11）和传感器（12）分别固定设置在涡流发生体容腔（13）和传感器容腔（14）中，所述基座（1）上方设有均匀排列的槽口（8），所述槽口（8）内部固定有螺栓（9），所述基座（1）上方中间设有显示屏（5）。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS油气回收流量计，其特征在于：所述基座（1）后方设有管道，所述管道前方表面固定有螺母。

3.根据权利要求1所述的一种MEMS油气回收流量计，其特征在于：所述传感器（12）主体为柱形，在传感器（12）柱面的轴向位置设有由环形凸筋（6）构成的限位机构，用于限制所述传感器（12）的插入深度，在所述线路板容腔（17）底部传感器容腔（14）端口的一侧设有定位凸起（15），所述传感器（12）的环形凸筋（6）上设有与定位凸起（15）相配的定位孔（18），所述定位凸起（15）配合在定位孔（18）中对所述传感器（12）的方向起到定位作用。

4.根据权利要求1所述的一种MEMS油气回收流量计，其特征在于：所述基座（1）一侧设置有锚孔（19），所述锚孔（19）内部设有螺纹，用以与其他设备连接，所述指向标（2）为黑色标签，贴在基座（1）表面。

5.根据权利要求1所述的一种MEMS油气回收流量计，其特征在于：所述基座（1）内部设有流量传感器、信号处理模块、输出模块三个部分，流量传感器采用CMOS半导体工艺制成的MEMS微机电传感器，输出模块可以实时测量流量并输出流量相关信息。

6.根据权利要求1所述的一种MEMS油气回收流量计，其特征在于：所述基座（1）上端还设有凹腔构成线路板容腔（17），所述传感器容腔（14）另一端端口设置在线路板容腔（17）的底部，所述涡流发生体容腔（13）另一端端口设置在所述基座（1）的底部，所述线路板容腔（17）中设置有检测线路板，所述线路板容腔（17）配设有盖板，所述检测线路板上设有调节电位器，所述盖板上与所述调节电位器对应位置设有调节孔，所述调节孔中可旋转地设有调节钮（7）与所述调节电位器相匹配。

7.根据权利要求1所述的一种MEMS油气回收流量计，其特征在于：所述基座（1）整体呈矩形体，所述线路板容腔（17）也呈矩形体，所述基座（1）选用金属材质。

8.根据权利要求1所述的一种MEMS油气回收流量计，其特征在于：所述涡流发生体容腔（13）另一端端口设置在所述基座（1）的底部，方便所述涡流发生体（11）从基座（1）的底部装入至流量管道（10）中，并采用密封胶如环氧树脂胶密封固定。