[实用新型]芯片量产粘接工装有效
申请号: | 202223505795.0 | 申请日: | 2022-12-28 |
公开(公告)号: | CN219144131U | 公开(公告)日: | 2023-06-06 |
发明(设计)人: | 李奕;谢华伟 | 申请(专利权)人: | 苏州铼铂机电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 张俊范 |
地址: | 215500 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 量产 工装 | ||
本实用新型公开了一种芯片量产粘接工装,包括基板、固定限位销柱、活动限位柱和压合块,所述基板上设有若干粘接凸台,所述固定限位销柱与所述基板为可拆卸连接,若干所述固定限位销柱间隔设置并位于所述粘接凸台的侧方,所述固定限位销柱与粘结凸台间留有间隙,所述活动限位柱与所述基板磁力连接并位于所述粘接凸台的侧方,所述压合块与所述粘接凸台磁力连接并位于所述粘接凸台的上方用于压紧芯片。本实用新型调节方便,清洗便捷,有效提高了芯片粘接作业的速度与质量。
技术领域
本实用新型涉及一种芯片加工工装,特别是涉及一种芯片量产粘接工装。
背景技术
在芯片端面抛光减薄的工艺制程中,需要对芯片端面进行减薄抛光,以便抛光减薄到指定的蚀刻边缘。在端面减薄抛光的过程中,首先把划好片的芯片粗胚和陪片粘接键合在一起,然后把粘接好的芯片通过定制的载具夹具放在磨抛卡具上。研磨液均匀滴落在磨盘上,磨盘开始转动,带动夹具沿着摆臂滚轮旋转,夹具底面的芯片通过研磨液的摩擦作用慢慢磨薄。
传统的粘接卡具使用腰型卡板手动调节,粘接效率慢,调节困难,且多余蜡液极难清洗,量产粘接时,会影响加工效率和产品质量。
实用新型内容
针对上述现有技术的缺陷,本实用新型提供了一种芯片量产粘接工装,目的是降低操作难度,使积累的蜡液便于清洗消除,提高粘接加工效率和质量。
本实用新型技术方案如下:一种芯片量产粘接工装,包括基板、固定限位销柱、活动限位柱和压合块,所述基板上设有若干粘接凸台,所述固定限位销柱与所述基板为可拆卸连接,若干所述固定限位销柱间隔设置并位于所述粘接凸台的侧方,所述固定限位销柱与粘结凸台间留有间隙,所述活动限位柱与所述基板磁力连接并位于所述粘接凸台的侧方,所述压合块与所述粘接凸台磁力连接并位于所述粘接凸台的上方用于压紧芯片。
进一步地,所述粘接凸台的尺寸设有多种。不同尺寸的粘接凸台可以适应不同尺寸的芯片的粘接操作。
进一步地, 所述基板上位于所述粘接凸台的侧方设有安装孔,所述固定限位销柱插装于所述安装孔内。
进一步地,所述固定限位销柱于所述基板为过盈配合连接。
进一步地,包括提手,所述提手固定安装于所述基板的两侧边。提手的设置更方便粘接工装的清洗操作。
本实用新型所提供的技术方案的优点在于:
通过磁力连接固定活动限位柱和压合块,简化了调节限位和固定限位的操作难度;通过多尺寸粘接凸台的设置,实现了增加粘接作业的应用范围;固定限位销柱的间隔设置并增加销柱与粘接凸台间隙的设置,消除了蜡液堆积的产生,方便了清洗;从而通过该简单结构有效提高作业的效率与质量。
附图说明
图1为实施例的芯片量产粘接工装的结构示意图。
图2为实施例的芯片量产粘接工装的俯视示意图。
图3为实施例的芯片量产粘接工装的侧视示意图。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型作进一步说明,应理解这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围,在阅读了本说明之后,本领域技术人员对本说明的各种等同形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围内。
请结合图1至图3所示,本实施例的芯片量产粘接工装包括基板1、固定限位销柱4、活动限位柱6和压合块5,基板1为矩形设置,在基板1的两侧边通过螺钉安装两个提手2,以便于清洗以及移动基板1时抓握。基板1材质采用的铁板,可在表面吸附磁铁。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州铼铂机电科技有限公司,未经苏州铼铂机电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202223505795.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造