[实用新型]剥离装置有效

专利信息
申请号: 202223447310.7 申请日: 2022-12-22
公开(公告)号: CN219144156U 公开(公告)日: 2023-06-06
发明(设计)人: 黄奕宏;罗炳杰;张波 申请(专利权)人: 深圳市深科达微电子设备有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/683;H01L21/67
代理公司: 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 代理人: 孙哲
地址: 518103 广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 剥离 装置
【权利要求书】:

1.一种剥离装置,其特征在于,包括:

吸盘,设有吸附面,所述吸附面用于放置并吸附贴合有芯片的膜料;

顶针机构,包括活动设置于所述吸附面的第一顶针、第二顶针以及第三顶针,所述第一顶针包括第一限位壁,所述第二顶针包括第二限位壁,所述第二顶针与所述第三顶针弹性连接;

驱动机构,包括第一驱动件和第二驱动件,所述第一驱动件与所述第一顶针连接,所述第二驱动件与所述第三顶针连接;

控制器,与所述第一驱动件以及所述第二驱动件电连接,所述控制器用于控制所述第一驱动件驱动所述第一顶针,并控制第二驱动件驱动所述第三顶针,使所述第一顶针和所述第三顶针能够相对所述吸附面伸缩移动;

所述第二顶针被配置为能够被第三顶针带动伸出所述吸附面,所述第二顶针在所述第一限位壁和所述第二限位壁未接触时与所述第三顶针齐平,并在所述第一限位壁和所述第二限位壁接触时高于所述第一顶针,在所述第一限位壁与所述第二限位壁相互施力时,所述第二顶针克服弹性作用以朝低于所述第三顶针的方向运动。

2.根据权利要求1所述的剥离装置,其特征在于,所述第一顶针包括第一筒和第一顶出件,所述第一筒沿所述第一顶针的伸缩方向延伸,所述第一筒的一端与所述第一驱动件连接,所述第一筒的另一端与所述第一顶出件连接,所述第一顶出件穿设于所述吸盘。

3.根据权利要求2所述的剥离装置,其特征在于,所述第二顶针的至少部分位于所述第一筒内,沿所述第一筒的延伸方向,所述第一顶出件朝向所述第二顶针的壁面形成所述第一限位壁。

4.根据权利要求2所述的剥离装置,其特征在于,所述第二顶针包括第二筒和第二顶出件,所述第二筒沿所述第一筒延伸的方向延伸,并至少部分位于所述第一筒内,所述第二筒的一端与所述第三顶针弹性连接,所述第二筒的另一端与所述第二顶出件连接,所述第二顶出件穿设于所述第一顶出件。

5.根据权利要求4所述的剥离装置,其特征在于,沿所述第二筒的延伸方向,所述第二顶出件朝向所述第一顶出件的壁面形成所述第二限位壁。

6.根据权利要求4所述的剥离装置,其特征在于,所述第三顶针包括传动件和第三顶出件,所述传动件沿所述第二筒延伸的方向延伸,并至少部分位于所述第二筒内,所述传动件的一端与所述第二驱动件连接,所述传动件的另一端与所述第三顶出件连接,所述第三顶出件穿设于所述第二顶出件。

7.根据权利要求6所述的剥离装置,其特征在于,所述剥离装置还包括支撑筒,所述吸盘与所述支撑筒的一端连接,所述吸附面至少部分贯穿,以连通所述支撑筒,所述第一筒的至少部分位于所述支撑筒内;

所述传动件包括相连的连接杆和第三筒,所述连接杆的至少部分位于所述第二筒内,并与所述第三顶出件连接,所述第三筒的至少部分位于所述第一筒内,并与抽吸机构连通,所述第三筒的内壁部分贯穿,以连通所述第一筒,所述第一筒的内壁部分贯穿,以连通所述支撑筒。

8.根据权利要求7所述的剥离装置,其特征在于,所述第三筒包括筒体和柔性连接套,所述筒体通过所述柔性连接套与所述连接杆连接;

沿所述柔性连接套的径向,所述柔性连接套开设有过孔,所述过孔沿所述柔性连接套的周向延伸。

9.根据权利要求6所述的剥离装置,其特征在于,所述剥离装置还包括弹性环,所述弹性环套设于所述传动件外,沿所述第二筒的延伸方向,所述弹性环的一侧与所述第二筒的壁面接触,所述弹性环的另一侧与所述传动件的壁面接触。

10.根据权利要求1所述的剥离装置,其特征在于,所述剥离装置还包括支撑筒,所述吸盘与所述支撑筒的一端连接,所述第一顶针、所述第二顶针以及所述第三顶针的至少部分位于所述支撑筒内并穿设于所述吸盘。

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