[实用新型]一种划片机的检测装置及划片机

说明书

本申请涉及一种划片机的检测装置及划片机，包括支撑部、安装部、固定部和用于检测切割刀磨损情况的传感器，传感器安装于安装部；支撑部包括第一支撑件、第二支撑件以及形成于第一支撑件和第二支撑件之间的安装空间，安装空间用于安装安装部；第一支撑件设有容置槽，第一支撑件朝向安装空间的一侧还设有限位槽，安装部设有限位凸起，限位凸起的一端位于限位槽内，固定部设于容置槽，并抵接于限位凸起的另一端。该检测装置能够对划片机的切割刀的磨损情况进行检测。

技术领域

本申请涉及半导体加工设备技术领域，具体涉及一种划片机的检测装置及划片机。

背景技术

半导体晶圆的正面具有相互交叉的多条切割道，多条切割道所划分的各区域内形成器件，划片机的切割刀沿着切割道对晶圆切割，即可得到各个器件。但切割刀对晶圆切割后会产生磨损，而如何检测切割刀的磨损情况，是本领域技术人员所需要解决的技术问题。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种划片机的检测装置及划片机，能够对划片机的切割刀的磨损情况进行检测。

为解决上述技术问题，本申请提供一种划片机的检测装置，包括支撑部、安装部、固定部和用于检测切割刀磨损情况的传感器，所述传感器安装于所述安装部；所述支撑部包括第一支撑件、第二支撑件以及形成于所述第一支撑件和所述第二支撑件之间的安装空间，所述安装空间用于安装所述安装部；所述第一支撑件设有容置槽，所述第一支撑件朝向所述安装空间的一侧还设有限位槽，所述安装部设有限位凸起，所述限位凸起的一端位于所述限位槽内，所述固定部设于所述容置槽，并抵接于所述限位凸起的另一端。

当将传感器通过安装部安装于支撑部的安装空间内后，该安装部还能够通过限位凸起、限位槽以及设于容置槽内的固定部固定，从而保证该传感器的安装位置稳定，确保检测结果的准确性。并且，当需要对传感器的位置进行调节，或者更换传感器时，仅需先解除固定部对安装部的限位作用，即可调节或更换传感器，操作较为方便。

容置槽的设置用于安装固定部，将固定部安装于容置槽可使得该检测装置的整体结构更为规整，简化外部结构，并且可减少占用空间。

通过本实施例所提供的检测装置能够对划片机的切割刀的磨损情况进行检测，便于对切割刀的状态进行监测，方便及时维修和更换。

可选地，所述固定部包括固定座和弹性件，所述固定座包括第一端和第二端，所述固定座与所述第一支撑件可枢转连接，且所述固定座的枢转轴位于所述第一端和所述第二端之间，所述弹性件位于所述容置槽并与所述第一端连接，所述弹性件能够作用于所述第一端，使所述固定座绕所述枢转轴转动至所述第二端抵接于所述限位凸起。

可选地，所述固定座呈T字形结构，所述T字形结构的两条横边的端部分别形成所述第一端和所述第二端，所述T字形的竖边与所述容置槽的槽壁可枢转连接。

可选地，所述第一端和所述容置槽的槽底中，至少一者设有定位槽，所述弹性件的端部抵接于所述定位槽内。

可选地，所述弹性件为弹簧。

可选地，所述第二端设有与所述限位凸起相适配的卡槽。

可选地，所述支撑部还包括支撑座，所述第一支撑件和所述第二支撑件均固设于所述支撑座。

可选地，所述安装部设有至少两个安装孔，所述传感器通过所述安装孔和连接螺栓固定于所述安装部。

可选地，所述安装孔为条形孔，且各所述条形孔平行设置。

本申请还提供了一种划片机，包括如上所述的检测装置。

具有如上所述的检测装置的划片机，其技术效果与上述检测装置的技术效果类似，为节约篇幅，在此不再赘述。

附图说明

图1是本申请所提供的划片机的检测装置的结构示意图；