[实用新型]一种硅片承载器

权利要求书

1. 一种硅片承载器，包括承载架，其特征在于，承载架上部设有上夹杆组件，承载架下部设有下托杆组件；承载架包括两处相对设置的端板（1），两处端板（1）之间通过框架杆（2）连接； 上夹杆组件包括上滑板（3），上滑板（3）在端板（1）上部滑槽中竖直滑动，上滑板（3）左右两侧滑动连接第一连杆（4）一侧，第一连杆（4）的另一端与第一曲柄轴（6）的外端固定连接，第一曲柄轴（6）内端与上夹杆（7）的端部连接；端板（1）与上滑板（3）之间设有滑板定位机构；下托杆组件包括下滑板（10），下滑板（10）在端板（1）下部滑槽中竖直滑动，下滑板（10）两侧铰接第二连杆（11）上端，第二连杆（11）下端固定连接第二转轴（12），第二转轴（12）中部在端板（1）中滑动，两侧第二转轴（12）之间连接下托杆（13）。

2.如权利要求1所述的硅片承载器，其特征在于，上滑板（3）、下滑板（10）上部均设有触块（16）。

3.如权利要求1所述的硅片承载器，其特征在于，滑板定位机构包括定位孔（8）和球头柱塞（9），定位孔（8）开设与上滑板（3）上，球头柱塞（9）固定端安装在端板（1），球头柱塞（9）中定位珠朝向定位孔（8）。

4.如权利要求1所述的硅片承载器，其特征在于，上滑板（3）、下滑板（10）通过滑轨竖直滑动安装在端板（1）上。

5.如权利要求1所述的硅片承载器，其特征在于，上滑板（3）左右两侧设置第一转轴（5），第一转轴（5）伸入第一连杆（4）上的第一滑槽（17）内。

6. 如权利要求1所述的硅片承载器，其特征在于，端板（1）的下部两侧分别设置有下滑槽（14）， 第二转轴（12）在下滑槽（14）中滑动。

7.如权利要求1所述的硅片承载器，其特征在于，第一曲柄轴（6）中部通过轴承座（15）转动安装在端板（1）中。

8.如权利要求1所述的硅片承载器，其特征在于，下托杆（13）和上夹杆（7）外周包裹护套。

9.如权利要求8所述的硅片承载器，其特征在于，护套为软性材料。