[实用新型]一种下模腔块浮动机构有效
申请号: | 202223043429.8 | 申请日: | 2022-11-16 |
公开(公告)号: | CN219497740U | 公开(公告)日: | 2023-08-08 |
发明(设计)人: | 陈健;杜伟娜 | 申请(专利权)人: | 深圳市亿昊精密半导体设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/56 |
代理公司: | 深圳中恒科专利代理有限公司 44808 | 代理人: | 邢立立 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 下模腔块 浮动 机构 | ||
1.一种下模腔块浮动机构,其特征在于:包括有支架,所述支架上固定有上固定板和下固定板,所述上固定板的四边角均开设有上下贯通的第一导向槽,每一所述第一导向槽中均设有第一导向柱,四个所述第一导向柱的上端连接有用于吸住晶片的支撑板,所述支撑板位于上固定板的上端,所述支撑板的上表面设有用于吸住晶片的吸孔,四个所述第一导向柱的下端连接有推板,所述推板位于上固定板和下固定板之间,所述推板的底部和下固定板之间设有用于使推板始终具有向上活动的趋势的弹性件。
2.根据权利要求1所述的一种下模腔块浮动机构,其特征在于:所述弹性件为弹簧。
3.根据权利要求2所述的一种下模腔块浮动机构,其特征在于:所述下固定板上开设有上下贯通的第二导向槽,所述推板的底部设有向下延伸的第二导向柱,所述第二导向柱插入第二导向槽中配合连接,所述弹簧套设在第二导向柱上,所述弹簧的两端分别抵在推板的底部和下固定板的上表面。
4.根据权利要求3所述的一种下模腔块浮动机构,其特征在于:所述第二导向柱为一根,对应的,所述第二导向槽为一个,并且,所述第二导向柱位于推板底面的中心处。
5.根据权利要求4所述的一种下模腔块浮动机构,其特征在于:所述第二导向柱的长度小于第二导向槽的长度。
6.根据权利要求1所述的一种下模腔块浮动机构,其特征在于:所述上固定板的厚度大于第一导向柱长度的三分之一且小于第一导向柱长度的二分之一。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造