[实用新型]一种MOCVD充抽箱卡锁

说明书

一种MOCVD充抽箱卡锁，包括固定块和卡槽，固定块包括水平设置为的横块和竖直设置的纵块，纵块的下部设置有锁止部，锁止部卡入卡槽的下部完成锁止；纵块的上端与横块的中部固定连接，横块的两端分别设置有贯穿孔，贯穿孔内设置有调节螺丝；锁止部呈水平并列形式共设置有两组；纵块下端设置有通孔，通孔内部贯穿设置有连接杆，连接杆的两端分别以可旋转的方式连接有滚轮和外轴承，滚轮和外轴承分别位于纵块两侧，设置两个水平并排的锁止部，可以增加着力点均摊压力，有利于减少轴承磨损，尺寸设计间距变大可便于拆装轴承。

技术领域：

本实用新型涉及半导体设备技术领域，更具体地说是一种MOCVD充抽箱卡锁。

背景技术：

现有MOCVD中，待用的外延片需经过其装配的充抽箱后方能使用，以去除表面氧气及水汽含量，保证手套箱环境，其该设备配用的充抽箱为旋转轴承压锁，使用时盖下压板逆时针旋转两边把手使轴承滑入腔体外壁的卡槽，以达到锁定的目的，其会频繁开关盖子，现有缺陷：

1.充抽箱接触面密封圈使用时间久了会变扁，从而会使盖板锁死后出现松动现象，密压不紧，充抽过程中若在手套箱生产操作，碰到把手会误旋开压锁，有可能会造成漏气充抽失败，其高度调节只有内侧，调节比较困难，增加高度会导致轴承有所倾斜。

2.轴承频率较高且其尺寸较小，属易损配件，现有安装的连接固定块尺寸设计的间隙较小不容易拆卸，其只在中间位置有一颗轴承，着力点较少。轴承和卡槽滑块为金属直接接触，容易损坏轴承，长时间使用容易划伤接触面使之较涩，造成轴承滑不到位。

发明内容：

为解决上述问题，克服现有技术的不足，本实用新型提供了能使用方便、平衡轴承压力、减少损伤的MOCVD充抽箱卡锁。

为实现上述目的，本实用新型提供的一种MOCVD充抽箱卡锁，包括固定块和卡槽，固定块包括水平设置为的横块和竖直设置的纵块，纵块的下部设置有锁止部，锁止部卡入卡槽的下部完成锁止；纵块的上端与横块的中部固定连接，横块的两端分别设置有贯穿孔，贯穿孔内设置有调节螺丝。

进一步的，锁止部呈水平并列形式共设置有两组。

进一步的，纵块下端设置有通孔，通孔内部贯穿设置有连接杆，连接杆的两端分别以可旋转的方式连接有滚轮和外轴承，滚轮和外轴承分别位于纵块两侧。

进一步的，纵块下端设置有阶梯状通孔，阶梯状通孔由内径较小的轴孔和内径较大的轴承槽相互连通而成，轴孔内部贯穿设置有连接轴，轴承槽内部设置有内轴承，连接轴的一端与内轴承以可旋转的方式连接，连接轴传出轴孔的另一端以可旋转的方式连接有滚轮。

进一步的，纵块侧面设置有与轴承槽贯通的顶丝孔，顶丝孔内设置有与顶丝孔啮合的顶丝，顶丝的一端穿入轴承槽并与内轴承接触。

进一步的，内轴承的厚度小于轴承槽的深度。

进一步的，还包括箱体和上盖，上盖上部设置有可旋转的把手，卡锁设置为把手下部，把手旋转至与卡槽的垂直投影面重叠时，滚轮滚动至卡槽下方完成锁止。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型提供的MOCVD充抽箱卡锁具有使用方便、平衡轴承压力、减少损伤的优点。

改造增加了高度调节点，设置两个调节螺丝，更有利于调节连接轴承的金属块的水平及高度，这样密封圈有稍微变扁，两边调节高度水平更容易。

设置两个水平并排的锁止部，可以增加着力点均摊压力，有利于减少轴承磨损，尺寸设计间距变大可便于拆装轴承。

设计内轴承直接嵌入金属固定块内，通过连接轴与内侧内轴承相连，这样应力会作用于内轴承上，避免了原来容易压坏轴承滚珠的问题，同时每组2个支撑点更有利于平衡，滚轮表面设置铁氟龙更耐磨且不容易刮花卡槽金属面，两组滚轮不容易误碰把手后滑开压锁。