[实用新型]一种MOCVD充抽箱卡锁有效
| 申请号: | 202222966434.X | 申请日: | 2022-11-08 |
| 公开(公告)号: | CN218860870U | 公开(公告)日: | 2023-04-14 |
| 发明(设计)人: | 宋辉 | 申请(专利权)人: | 远山新材料科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;H01J37/32 |
| 代理公司: | 济宁汇景知识产权代理事务所(普通合伙) 37254 | 代理人: | 朱培 |
| 地址: | 272100 *** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 mocvd 充抽箱卡锁 | ||
1.一种MOCVD充抽箱卡锁,其特征在于:包括固定块和卡槽,所述固定块包括水平设置为的横块和竖直设置的纵块,所述纵块的下部设置有锁止部,所述锁止部卡入卡槽的下部完成锁止;所述纵块的上端与横块的中部固定连接,所述横块的两端分别设置有贯穿孔,所述贯穿孔内设置有调节螺丝。
2.根据权利要求1所述的MOCVD充抽箱卡锁,其特征在于:所述锁止部呈水平并列形式共设置有两组。
3.根据权利要求1~2任一项所述的MOCVD充抽箱卡锁,其特征在于:所述纵块下端设置有通孔,所述通孔内部贯穿设置有连接杆,所述连接杆的两端分别以可旋转的方式连接有滚轮和外轴承,所述滚轮和外轴承分别位于纵块两侧。
4.根据权利要求1~2任一项所述的MOCVD充抽箱卡锁,其特征在于:所述纵块下端设置有阶梯状通孔,所述阶梯状通孔由内径较小的轴孔和内径较大的轴承槽相互连通而成,所述轴孔内部贯穿设置有连接轴,所述轴承槽内部设置有内轴承,所述连接轴的一端与内轴承以可旋转的方式连接,所述连接轴传出轴孔的另一端以可旋转的方式连接有滚轮。
5.根据权利要求4所述的MOCVD充抽箱卡锁,其特征在于:所述纵块侧面设置有与轴承槽贯通的顶丝孔,所述顶丝孔内设置有与顶丝孔啮合的顶丝,所述顶丝的一端穿入轴承槽并与内轴承接触。
6.根据权利要求4所述的MOCVD充抽箱卡锁,其特征在于:所述内轴承的厚度小于轴承槽的深度。
7.根据权利要求1所述的MOCVD充抽箱卡锁,其特征在于:还包括箱体和上盖,所述上盖上部设置有可旋转的把手,所述卡锁设置为把手下部,所述把手旋转至与卡槽的垂直投影面重叠时,滚轮滚动至卡槽下方完成锁止。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





