[实用新型]集成机械手及取环装置

说明书

本实用新型揭示了集成机械手及取环装置，其中，集成机械手包括基板，基板上设置有取环机械手，基板上还设置有避让驱动机构，避让驱动机构连接定心机械手且驱动定心机械手沿垂直于所述基板的方向在第一位置和第二位置之间移动，在第一位置处，定心机械手的定心爪位于所述取环机械手的取环爪的下方，在第二位置处，所述取环爪位于所述定心爪的下方。本实用新型将定心机械手和取环机械手集成为一个整体，在取环时，可以直接通过集成机械手实现对中和取环操作，可以有效地减少现有的定心机械手需要大范围移动到取环工位进行对中的过程，同时也可以解决在取环工位进行对中时，其他工位需要等待对中处理造成的低效问题。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工设备领域，尤其是集成机械手及取环装置。

背景技术

在太鼓晶圆加工过程中，涉及到将太鼓环从晶圆上去除的过程。

现有技术中，可以采用申请公布号为CN114582713A的中国发明专利申请所揭示的结构来实现取环作业。

在通过取环机械手取环之前，需要通过对中装置使工作台上的晶圆调整至与工作台共轴的状态，才能保证取环机械手准确地进行取环。

而现有的结构中是通过额外的移动机构来驱动定心机械手由其他工位移动到取环工位处进行对中作业，这就造成定心机械手需要大范围的移动，同时在一个工位进行对中作业时，无法进行另外工位的对中作业，影响了整机的效率。

实用新型内容

本实用新型的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种集成机械手及取环装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

集成机械手，包括基板，所述基板上设置有取环机械手，所述基板上还设置有避让驱动机构，所述避让驱动机构连接定心机械手且驱动所述定心机械手沿垂直于所述基板的方向在第一位置和第二位置之间移动，在第一位置处，所述定心机械手的定心爪位于所述取环机械手的取环爪的下方，在第二位置处，所述取环爪位于所述定心爪的下方。

优选的，所述集成机械手中，所述取环机械手及定心机械手与所述基板同心设置。

优选的，所述集成机械手中，所述取环机械手包括至少2个固定在所述基板底部的直线电机，每个直线电机连接一取环爪并驱动所述取环爪水平直线移动，当一组所述直线电机的伸缩轴的伸出长度相同时，一组所述取环爪呈均分圆周分布。

优选的，所述集成机械手中，所述直线电机连接一滑动块，所述滑动块滑动设置在基板底部的导轨上，所述滑动块上设置有一连接轴，所述连接轴与所述基板垂直且其上设置所述取环爪。

优选的，所述集成机械手中，所述取环爪为三个，每个所述取环爪为与所述连接轴共轴连接的工字轮。

优选的，所述集成机械手中，所述滑动块上还设置有触发件，所述基板上设置有与所述触发件配合以控制所述取环爪的移动行程的传感器。

优选的，所述集成机械手中，所述定心机械手包括底板，所述底板上设置有至少两个均分圆周的伺服直线模组，每个伺服直线模组连接一个所述定心爪并驱动所述定心爪水平直线移动，多个所述伺服直线模组驱动一组所述定心爪配合实现工件定心。

优选的，所述底板包括中心圆板及均匀分布在其外周的三个分叉板，每个所述分叉板的上方设置一所述伺服直线模组，所述伺服直线模组与直线电机沿周向交替分布，所述定心爪通过转接件连接所述伺服直线模组且位于所述分叉板的底部。

优选的，所述集成机械手中，所述底板的底部设置有位于每个所述定心爪两侧的接近传感器。

取环装置，包括上述任一的集成机械手。

本实用新型技术方案的优点主要体现在：