[实用新型]冷却结构、冷却系统及分子泵

说明书

本实用新型公开了一种冷却结构、冷却系统及分子泵，其中冷却结构包括：至少一个水冷块和循环管道，其中，所述水冷块具有水冷本体，所述水冷块还具有设置在水冷本体内适于流通水冷介质的冷却腔，所述水冷本体至少具有一个适于贴设在电机和/或轴承的外壳壁的水冷壁；所述循环管道与所述冷却腔连通，具有流通进口和流通出口，所述流通进口适于与冷水供给机构的出水口连通，所述流通出口适于连通冷水供给机构的进水口。通过水冷块、循环管道形成于外接冷水供给系统相连通的冷却循环腔，并且通过水冷本体的水冷壁直接与电机和/或轴承相互贴合，进而实现冷却介质流经冷却腔并通过水冷壁对电机壳体或者轴承座的降温，实现对高速旋转轴系部件降温。

技术领域

本实用新型涉及分子泵冷却降温技术领域，具体涉及一种冷却结构、冷却系统及分子泵。

背景技术

分子泵工作在高真空环境中，分子流态下，经过叶片的气体分子的平均自由程远远大于叶片通道的几何尺寸。气体分子就会较多地射向转子和定子叶片，为形成气体分子的定向运动。在动叶列组合状态下，实现气体分子的定向流动，并获取相应的高抽速与压缩比。

在电机运转过程中以及气流与叶片的碰撞过程中会产生部分热量，热量主要来源于轴系的高速旋转部位，例如：电机部位、轴承部位。若这些部分热量不交换出去，分子泵温度升高，会对分子泵造成两大影响。

现有为了实现分子泵冷却，通常在电机壳外部加工多个连通且盘绕的冷水槽，水套套设在电机壳外部，从而冷水槽与外水套形成密闭空间，并且通过向密封空间内加注冷却水，从而实现对于轴系的告诉转动部位的冷却，但是上述的分子泵冷却方式，需要对电机壳进行多次加工，加工难度大，并且，由于冷却介质直接通入电机壳内，造成分子泵的整体重量增加，此外，冷却介质也加速电机壳体的腐蚀，容易造成电机壳体寿命不长的问题。

实用新型内容

因此，本实用新型所要解决的技术问题在于现有技术中的分子泵冷却方式，需要对电机壳进行多次加工，加工难度大，并且，由于冷却介质直接通入电机壳内，造成分子泵的整体重量增加，此外，冷却介质也加速电机壳体的腐蚀，容易造成电机壳体寿命不长的问题。

为此，本实用新型提供一种冷却结构，包括：

至少一个水冷块，所述水冷块具有水冷本体，所述水冷块还具有设置在水冷本体内适于流通水冷介质的冷却腔，所述水冷本体至少具有一个适于贴设在电机和/或轴承的外壳壁的水冷壁；

循环管道，所述循环管道与所述冷却腔连通，具有流通进口和流通出口，所述流通进口适于与冷水供给机构的出水口连通，所述流通出口适于连通冷水供给机构的进水口。

可选地，上述的冷却结构，所述水冷壁为曲面或平面。

可选地，上述的冷却结构，所述水冷壁为圆柱面。

可选地，上述的冷却结构，包括第一水冷块和第二水冷块，所述第一水冷块和所述第二水冷块相对设置，所述循环管道设置在所述第一水冷块和所述第二水冷块之间，所述流通进口适于通过第一水冷块与冷水供给机构的出水口连通，所述流通出口适于通过第二冷却块与冷水供给机构的进水口连通。

可选地，上述的冷却结构，所述第一水冷块具有第一循环水路，所述第一循环水路设置在第一水冷本体内，所述第一循环水路具有第一接口和第二接口，所述第一循环水路具有适于流通水冷介质的第一冷却腔，所述第一接口适于与冷水供给机构的出水口连通，所述第二接口与所述流通进口连通；

所述第二水冷块具有第二循环水路，所述第二循环水路设置在第二水冷本体内，所述第二循环水路具有第三接口和第四接口，所述第二循环水路具有适于流通水冷介质的第二冷却腔，所述第三接口与所述流通出口相接连通，所述第四接口适于与冷水供给机构的进水口连通。

可选地，上述的冷却结构，还包括第一转接件和第二转接件；