[实用新型]一种隔热型多晶硅铸锭炉

权利要求书

1.一种隔热型多晶硅铸锭炉，包括炉体(1)、加热器(2)、隔热笼(3)、坩埚(4)和隔热笼升降组件(5)，其特征在于：所述坩埚(4)位于炉体(1)的中部，所述加热器(2)包括顶部加热器(21)和侧部加热器(22)，所述加热器(2)盖罩在坩埚(4)的中上方，隔热笼(3)盖罩在加热器(2)和坩埚(4)的外周，所述炉体(1)的顶部设有隔热笼升降组件(5)，隔热笼升降组件(5)与隔热笼(3)机械连接，

所述隔热笼(3)包括隔热笼顶盖(31)、隔热笼侧板(32)和隔热笼底板(33)，所述隔热笼侧板(32)包括内侧板(321)和外侧板(322)，所述内侧板(321)包括上内侧板(3211)、若干中内侧板(3212)和下内侧板(3213)，所述上内侧板(3211)、中内侧板(3212)和下内侧板(3213)均可拆卸的固定连接，所述中内侧板(3212)具体为梯形截面的条状结构，所述中内侧板(3212)的梯形截面的长底边和短底边交错与外侧板(322)连接。

2.根据权利要求1所述的一种隔热型多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述上内侧板(3211)和所述下内侧板(3213)与所述中内侧板(3212)的连接处均设有与所述梯形截面的斜边相匹配的斜边，所述上内侧板(3211)和下内侧板(3213)与所述中内侧板(3212)及中内侧板(3212)之间的连接处均紧密结合。

3.根据权利要求1所述的一种隔热型多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述炉体(1)内部设有位于坩埚(4)底部的石墨冷却块(11)，所述石墨冷却块(11)为若干支撑柱(12)所支撑，支撑柱(12)穿过下部隔热笼(3)底板，底端固定于炉体(1)底部内壁上，所述坩埚(4)的外周设有坩埚护板(41)。

4.根据权利要求2所述的一种隔热型多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述下内侧板(3213)的顶面高度低于或等于所述侧部加热器(22)的底面高度。

5.根据权利要求2所述的一种隔热型多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述上内侧板(3211)、所述中内侧板(3212)和所述下内侧板(3213)均通过石墨螺杆和石墨螺母与所述外侧板(322)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种隔热型多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述炉体(1)的底部设有溢流毯(13)。

7.根据权利要求1所述的一种隔热型多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述内侧板(321)为聚丙烯腈基石墨毡。

8.根据权利要求1所述的一种隔热型多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述炉体(1)的中轴线自上而下设置有观察管(14)。

9.根据权利要求1所述的一种隔热型多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述炉体(1)的内侧壁上设置有高温吸热图层。