[实用新型]镀膜设备

权利要求书

1.一种镀膜设备，其特征在于，包括：

真空腔体，所述真空腔体包括真空腔室，所述真空腔体电连接第一电位；位于所述真空腔室内，且与所述真空腔体绝缘接触的电场组件，其中，所述电场组件包括：

电极架，所述电极架电连接第二电位，所述第二电位与所述第一电位不同；与所述电极架可拆卸连接的若干电极板，若干所述电极板分别与所述电极架电连接，若干所述电极板沿第一方向平行排布，且相邻的所述电极板之间具有第一间隙。

2.如权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，还包括：与所述电极板表面固定连接的若干载物板，相邻的所述载物板之间具有第二间隙。

3.如权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述第二间隙的尺寸范围为：10毫米～20毫米。

4.如权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述电极板包括相对的第一表面和第二表面，所述第一表面和第二表面均固定连接有若干所述载物板。

5.如权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，还包括：开设于所述真空腔体底部的绝缘滑槽；与所述电极架底部固定连接的若干万向球轴承，所述万向球轴承装配于所述绝缘滑槽内。

6.如权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一方向包括：竖直方向或水平方向。

7.如权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一间隙的尺寸范围为：10毫米～80毫米。

8.如权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一电位包括：接地电位；所述第二电位包括：负电位。

9.如权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述第二电位包括：脉冲直流；脉冲直流的参数包括：电压为300伏～1000伏，频率为1千赫兹～350千赫兹。

10.如权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述电极板通过若干金属固定卡件与所述电极架可拆卸连接。