[实用新型]一种晶圆控温装置

权利要求书

1.一种晶圆控温装置，其特征在于：包括固定盘(1)、设于固定盘(1)的载物盘(2)以及用于给载物盘(2)加热的加热件(31)；所述载物盘(2)内设有真空气道(21)；所述载物盘(2)的表面设有与真空气道(21)连通的真空气槽(22)；

所述载物盘(2)设有温度传感器(32)；

所述固定盘(1)内设有散热气道(11)以及与散热气道(11)连通的散热气槽(12)；所述固定盘(1)设有与散热气槽(12)连通的泄压腔体(13)；所述泄压腔体(13)的顶部设有导向板(14)；所述导向板(14)与泄压腔体(13)之间形成出风槽(15)；所述出风槽(15)用于将泄压腔体(13)的气体导向至载物盘(2)的表面。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆控温装置，其特征在于：所述固定盘(1)设有气嘴固定块(4)；所述气嘴固定块(4)设有与真空气道(21)连通的真空接头(41)以及与散热气道(11)连通的散热接头(42)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆控温装置，其特征在于：所述真空接头(41)与真空气道(21)之间设有隔热气嘴(43)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆控温装置，其特征在于：所述载物盘(2)为圆形结构；所述真空气槽(22)的数量为多个；多个真空气槽(22)均为圆环结构；所述载物盘(2)与多个真空气槽(22)同心设置。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆控温装置，其特征在于：所述固定盘(1)的中部设有转接腔(5)；所述散热气道(11)以及散热气槽(12)分别与转接腔(5)连通；

所述固定盘(1)内等间距设有多个散热气槽(12)以及多个泄压腔体(13)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆控温装置，其特征在于：所述散热气槽(12)以及泄压腔体(13)的数量均为四个；四个散热气槽(12)以转接腔(5)为中心均匀分布；所述泄压腔体(13)等间距设于载物盘(2)的四周；所述出风槽(15)设于载物盘(2)的顶部。

7.根据权利要求5所述的一种晶圆控温装置，其特征在于：所述散热气槽(12)呈蜿蜒状设置。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆控温装置，其特征在于：所述固定盘(1)的底部设有与固定盘(1)可拆卸连接的封板(6)。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆控温装置，其特征在于：所述加热件(31)为加热丝；所述加热丝设于载物盘(2)的底部；所述加热丝呈迂回设置。