[实用新型]一种晶粒搬运装置

说明书

本实用新型公开了一种晶粒搬运装置，包括：支座，所述支座连接至驱动模组；对称位于支座两侧的两个竖直设置的摆臂，所述摆臂内部设置有负压管道；位于摆臂上端外侧壁的吸嘴；所述吸嘴与负压管道连通，吸嘴靠近支座的一侧设置有视觉模组。本实用新型提供的一种晶粒搬运装置，通过双工位吸嘴实现晶粒的同步吸取和放置，且通过驱动模组和视觉模组的相互配合，实现晶粒的精准定位。

技术领域

本实用新型涉及晶粒搬运领域，尤其涉及一种晶粒搬运装置。

背景技术

晶粒的搬运机构用于将一张蓝膜上面同类型晶粒搬运到另外一张蓝膜上面，常规的搬运机构是采用导轨上面安装吸嘴，通过导轨滑动带动吸嘴上的晶粒滑动，再通过吸嘴对晶粒的吸取和放松，使得晶粒从一张蓝膜转移到另一张蓝膜上。

现有技术中这种搬运机构导轨滑动的机械误差较大，且整个机构的重量比较重，在高速搬晶时，惯性作用下会影响机械形变，从而影响晶粒搬运后的定位精度无法实现晶粒的精准和高效搬运。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一。为此，本实用新型的目的在于提供一种晶粒搬运装置，通过双工位吸嘴实现晶粒的同步吸取和放置，且通过驱动模组和视觉模组的相互配合，实现晶粒的精准定位。

为了实现上述目的，本申请采用如下技术方案：一种晶粒搬运装置，包括：

支座，所述支座连接至驱动模组；

对称位于支座两侧的两个竖直设置的摆臂，所述摆臂内部设置有负压管道；

位于摆臂上端外侧壁的吸嘴；所述吸嘴与负压管道连通，吸嘴靠近支座的一侧设置有视觉模组。

进一步的，所述驱动模组位于支座下方，且所述支座和驱动模组通过固定平板固定连接。

进一步的，所述支座包括底板和立板，其中，底板固定在所述固定平板的上表面，所述立板为两个，对称设置在底板中心的两侧；所述摆臂固定在所述底板的两端，且摆臂与立板平行且相对设置。

进一步的，所述摆臂与底板通过弹片固定，所述弹片垂直于底板且平行于摆臂。

进一步的，所述摆臂的中心与立板通过限位杆连接，所述限位杆的一端固定连接摆臂内侧壁，另一端贯穿立板与弹力调节螺母连接。

进一步的，所述限位杆上嵌套限位弹簧，所述限位弹簧的一端与摆臂内侧壁抵接，另一端与立板外侧壁抵接。

进一步的，所述底板内部均为中空结构，所述负压管道分布在底板内部，且负压管道的端口位于底板中心，所述负压管道的端口连接负压体系。

进一步的，所述吸嘴位于摆臂上端的外侧壁，其中一个吸嘴与晶粒放置位相对设置，另外一个吸嘴与晶粒吸取位相对设置。

进一步的，所述摆臂上端的内侧壁设置有玻璃镜片，所述玻璃镜片位于吸嘴和视觉模组之间，所述视觉模组为两个，分别与两个吸嘴相对设置。

进一步的，所述视觉模组包括相机。

本申请实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：本申请视觉模组用于定位晶粒中心和吸嘴中心，驱动模组带动支座移动至晶粒中心和吸嘴中心对准，负压管道内部形成负压使得吸嘴吸取晶粒，驱动模组带动支座和摆臂旋转180°，使得吸取晶粒的摆臂移动至晶粒放置位进行晶粒的放置，另一侧的摆臂移动至晶粒吸取位进行晶粒吸取，本申请通过两个摆臂带动吸嘴的移动可以实现一端摆臂吸取晶粒，另一端摆臂放置晶粒，提高了晶体搬运的效率；本申请通过视觉模组进行晶粒和吸嘴的定位，通过驱动模组带动吸嘴靠近或者远离吸嘴放置位和吸嘴吸取位的移动，能够快速准确实现晶粒的搬运。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施例，并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。