[实用新型]一种晶粒搬运装置

权利要求书

1.一种晶粒搬运装置，其特征在于，包括：

支座，所述支座连接至驱动模组；

对称位于支座两侧的两个竖直设置的摆臂，所述摆臂内部设置有负压管道；

位于摆臂上端外侧壁的吸嘴；所述吸嘴与负压管道连通，吸嘴靠近支座的一侧设置有视觉模组。

2.根据权利要求1所述的一种晶粒搬运装置，其特征在于，所述驱动模组位于支座下方，且所述支座和驱动模组通过固定平板固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶粒搬运装置，其特征在于，所述支座包括底板和立板，其中，底板固定在所述固定平板的上表面，所述立板为两个，对称设置在底板中心的两侧；所述摆臂固定在所述底板的两端，且摆臂与立板平行且相对设置。

4.根据权利要求3所述的一种晶粒搬运装置，其特征在于，所述摆臂与底板通过弹片固定，所述弹片垂直于底板且平行于摆臂。

5.根据权利要求3所述的一种晶粒搬运装置，其特征在于，所述摆臂的中心与立板通过限位杆连接，所述限位杆的一端固定连接摆臂内侧壁，另一端贯穿立板与弹力调节螺母连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶粒搬运装置，其特征在于，所述限位杆上嵌套限位弹簧，所述限位弹簧的一端与摆臂内侧壁抵接，另一端与立板外侧壁抵接。

7.根据权利要求3所述的一种晶粒搬运装置，其特征在于，所述底板内部为中空结构，所述负压管道分布在底板内部，且负压管道的端口位于底板中心，所述负压管道的端口连接负压体系。

8.根据权利要求1所述的一种晶粒搬运装置，其特征在于，所述吸嘴位于摆臂上端的外侧壁，其中一个吸嘴与晶粒放置位相对设置，另外一个吸嘴与晶粒吸取位相对设置。

9.根据权利要求8所述的一种晶粒搬运装置，其特征在于，所述摆臂上端的内侧壁设置有玻璃镜片，所述玻璃镜片位于吸嘴和视觉模组之间，所述视觉模组为两个，分别与两个吸嘴相对设置。

10.根据权利要求1所述的一种晶粒搬运装置，其特征在于，所述视觉模组包括相机。