[实用新型]一种半导体用湿电子化学品双工位半自动灌装机有效

专利信息
申请号: 202222088622.7 申请日: 2022-08-09
公开(公告)号: CN218465485U 公开(公告)日: 2023-02-10
发明(设计)人: 於婷;张磊;张悦;刘素华;孙炳良 申请(专利权)人: 芯越微电子材料(嘉兴)有限公司
主分类号: B67C3/28 分类号: B67C3/28;B67C3/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 314200 浙江省嘉兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 电子 化学品 双工 半自动 灌装
【权利要求书】:

1.一种半导体用湿电子化学品双工位半自动灌装机,其特征在于:包括控制端、净化区(9)、吸取动力件(5)以及净化灌装台,净化区设置至少两个出料口(11)以及对应出料口(11)数量设置的称重模块(12),将待灌装的装液容器放置在称重模块(12)上,每个出料口(11)的输出端对应一个称重模块(12),通过控制端输入灌装标准重量,并通过吸取动力件从容器(1)中吸取对应重量的液体至装液容器中。

2.根据权利要求1所述的半导体用湿电子化学品双工位半自动灌装机,其特征在于:所述净化灌装台包括至少一个用于支撑吸取动力件用的支撑台,以及一个用于放置容器(1)的区域,吸取动力件通过吸取管(2)插入至容器(1)内与桶内液体接触,吸取动力件(5)输出端分设置与出料口(11)数量对应的输出管道(4)来连接每一个出料口(11),用于将容器(1)内的液体自出料口输出至装液容器中。

3.根据权利要求1或2所述的半导体用湿电子化学品双工位半自动灌装机,其特征在于:吸取动力件(5)采用定量自吸泵,其通过控制端控制吸取量。

4.根据权利要求2所述的半导体用湿电子化学品双工位半自动灌装机,其特征在于:吸取动力件(5)的输出管道上均设置有高精度过滤器(3),用于过滤掉液体中的杂质及颗粒。

5.根据权利要求1所述的半导体用湿电子化学品双工位半自动灌装机,其特征在于:所述控制端包括控制主机以及触控屏(6),触控屏(6)端用于输入灌装的标准重量。

6.根据权利要求1所述的半导体用湿电子化学品双工位半自动灌装机,其特征在于:位于触控屏一侧的控制主机上还设置有多个控制按键,其中,多个控制按键包括开始灌装按键(8)、急停按钮(7)。

7.根据权利要求1所述的半导体用湿电子化学品双工位半自动灌装机,其特征在于:称重模块(12)采用重量传感器以及称重支撑板,重量传感器设置在称重支撑板底部,装液容器放置在称重支撑板上,重量传感器的信号输出端反馈至控制主机端,定量自吸泵受控于控制主机。

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