[实用新型]在线式晶圆清洗机

权利要求书

1.在线式晶圆清洗机，其特征在于：包括一结构主体，所述结构主体包括机架、设置于所述机架上端面的机罩，所述机罩侧壁设置有触控屏，所述机架上端面且位于所述机罩内部设置有提篮上料机构、夹爪机构、校正机构、上料机械手机构、下料机械手机构以及清洗腔体机构；

所述提篮上料机构包括与所述机架相连接的第一安装座，所述第一安装座上设置有Z轴升降模组以及驱动所述Z轴升降模组进行升降的第一伺服电机，所述Z轴升降模组上设置有晶圆上料装置以及用于对所述晶圆上料装置进行固定的定位装置；

所述夹爪机构包括与所述机架相连接的第二安装座，所述第二安装座上端面设置有夹持机构移动模组以及驱动所述夹持机构移动模组运行的第二伺服电机，所述夹持机构移动模组上活动设置有用于夹持晶圆的夹持机构；

所述校正机构包括设置于与所述机架相连接的第三安装座，所述第三安装座上端面设置有第三伺服电机，所述第三伺服电机的输出轴通过联轴器连接有丝杆，所述丝杆上螺纹连接有丝杆螺母座，所述丝杆螺母座上固定连接有用于对晶圆进行校正的校正组件；

所述上料机械手机构包括上料伺服电机，所述上料伺服电机的输出轴连接有第一水平移动模组，所述第一水平移动模组上活动设置有上料组件，所述上料组件包括上料升降气缸，所述升降气缸的输出轴连接有上料真空吸盘；

所述下料机械手机构包括下料伺服电机，所述下料伺服电机的输出轴连接有第二水平移动模组，所述第二水平移动模组上活动设置有下料组件，所述下料组件包括下料升降气缸，所述升降气缸的输出轴连接有下料真空吸盘；

所述清洗腔体机构包括主轴升降气缸，所述主轴升降气缸的输出轴连接有清洗组件，所述清洗组件包括清洗腔，所述清洗腔内设置有离心清洗盘，所述离心清洗盘的底面设置有带动所述离心清洗盘进行转动的旋转主轴电机。

2.根据权利要求1所述的在线式晶圆清洗机，其特征在于：所述提篮上料机构、夹爪机构、校正机构、上料机械手机构、下料机械手机构以及清洗腔体机构均与所述触控屏电性连接。

3.根据权利要求1所述的在线式晶圆清洗机，其特征在于：所述机罩上端面还设置有若干个与机罩内部相通的FFU空气过滤装置，若干个所述FFU空气过滤装置等间距的排列于所述机罩上端面。

4.根据权利要求1所述的在线式晶圆清洗机，其特征在于：所述机架底部四周连接有多个自由调节的升降脚杯，所述机罩顶部电性连接有与所述触控屏电性连接的三色灯。

5.根据权利要求1所述的在线式晶圆清洗机，其特征在于：所述主轴升降气缸用于带动所述清洗组件进行升降，所述旋转主轴电机通过联轴器连接有转轴，所述转轴远离旋转主轴电机一端与所述离心清洗盘固定连接，所述清洗腔一侧设置有与所述清洗腔相通的排风口。