[实用新型]导向机构以及装配有该导向机构的搬运装置

说明书

本实用新型涉及半导体测试技术领域，提供一种导向机构以及装配有该导向机构的搬运装置。该导向机构包括基体、滚动体和导向轴；基体构造有贯穿的导向孔；滚动体转动连接于基体，且滚动体的部分向内凸出于导向孔的孔壁；导向轴穿设于导向孔内，且基体能够沿导向轴的轴向相对导向轴移动，滚动体均与导向轴滚动接触；其中，滚动体的数量为若干，滚动体将导向轴架离导向孔的孔壁，以使导向轴与导向孔的孔壁之间具有安全间隙。本实用新型提供的导向机构应用在不同温度环境中，即便基体发生热变形，也不会对导向轴造成影响，有效改善因基体与导向轴接触而造成移动卡滞的问题，保证了运动顺畅。

技术领域

本申请涉及半导体测试技术领域，特别是涉及一种导向机构以及装配有该导向机构的搬运装置。

背景技术

半导体在进行测试时，需要利用搬运机构将其搬运至不同的工位。在搬运过程中，为满足移动导向以提高运动平稳性，通常配置有轴承导向单元。

然而，半导体测试具有不同温度环境下的检测，导致所处的工作环境存在温差，容易对上述的轴承导向单元造成影响，致使其发生热变形，从而导致移动卡滞。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种导向机构，以在不同温度环境中工作时确保运动顺畅，改善移动卡滞的问题。

一种导向机构，包括基体、滚动体和导向轴；所述基体构造有贯穿的导向孔；所述导向轴穿设于所述导向孔内，且所述基体能够沿所述导向轴的轴向相对所述导向轴移动；所述滚动体转动连接于所述基体，且所述滚动体的部分沿所述导向孔的径向向内凸出于所述导向孔的孔壁，并与所述导向轴滚动接触；其中，所述滚动体的数量为若干，所述滚动体将所述导向轴架离所述导向孔的孔壁，以使所述导向轴与所述导向孔的孔壁之间具有安全间隙。

上述的导向机构，通过若干滚动体的布置，使得导向轴的外侧壁上具有若干滚动接触面。如此，利用这若干滚动接触面的配合，满足若干滚动体对导向轴的滚动支撑，使得导向轴与导向孔的孔壁之间存在安全间隙。当该导向机构应用在不同温度环境中，即便基体发生热变形，因为有安全间隙的布置，相当于对基体的变形提供预留空间，降低基体热变形对导向轴的影响，有效改善因基体与导向轴接触而造成移动卡滞的问题，保证了运动顺畅。

在其中一个实施例中，若干所述滚动体沿所述导向轴的轴向间隔布置，和/或，若干所述滚动体绕所述导向轴的轴线间隔布置。

这样的设置，确保导向轴沿导向孔的轴向和径向均不与基体接触，以使安全间隙贯穿整个导向孔。

在其中一个实施例中，沿所述导向轴的周向，任意相邻的两个所述滚动体沿所述导向轴的轴向交错布置；沿所述导向轴的轴向，任意相邻的两列所述滚动体中，任意相邻的两个所述滚动体的间距不同。

通过这样的设置，能够在满足安全间隙沿导向轴的轴向和周向均匀布设的同时，缩减滚动体的数量，不仅降低装配难度，且满足轻量化设计。

在其中一个实施例中，所述基体具有沿第一方向间隔且相对布置的两个第一侧部以及沿第二方向间隔且相对布置的两个第二侧部；所述第一方向和所述第二方向成角度设置，并均与所述导向轴的轴向成角度设置；其中，设置于所述第一侧部上任意相邻所述滚动体之间的间距，小于设置于所述第二侧部上任意相邻所述滚动体之间的间距。

可以理解的是，利用不同侧部上任意相邻的两个滚动体之间的间距差，以便于适应于基体相对搬运物料的受力方向，以调整滚动体的布置情况。

在其中一个实施例中，所述第一侧部的长度和所述第二侧部的长度均沿所述导向轴的轴向延伸，若干所述滚动体沿所述第一侧部的长度方向或所述第二侧部的长度方向间隔布置。

如此，即可形成多组沿滚动体轴向的间隔分布的环状滚动接触面，在满足受力均匀的同时，减少装配滚动体的数量。

在其中一个实施例中，若干滚动体沿所述导向轴的轴向呈螺旋状间隔布置。