[实用新型]一种晶圆棒与石英棒夹紧装置

说明书

本实用新型公开了一种晶圆棒与石英棒夹紧装置，包括安装圆板，所述安装圆板上设置有电机安装座，所述电机安装座上设置有传动电机，所述安装圆板的正下方设置有底板，所述底板的上部设置有十字型固定座，所述十字型固定座上设置有用于夹紧晶圆棒的夹爪装置，所述传动电机通过丝杆与所述夹爪装置传动连接，并通过丝杆传动的方式控制夹爪装置的张合。本实用新型中传动电机通过丝杆带动十字型连接座移动，十字型连接座通过连杆件带动四个夹爪张合，当接近传感器检测到底板接触到晶圆棒或石英棒的端面后，四个夹爪会闭合将晶圆棒或石英棒夹紧，通过该装置可以对不同尺寸的晶圆棒或石英棒进行夹持作业，结构简单，通用性强，整个装置的制造成本也低。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，特别是一种晶圆棒与石英棒夹紧装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，晶圆在加工时，需要经过多种工艺，其中就包含有切割加工，将晶圆棒切割呈厚度均匀的晶圆片。而石英棒也是半导体加工中用到的一种不可或缺的耗材。

半导体在加工的过程中，用到晶圆棒和石英棒时需要对其进行搬运周转，目前一般采用人工或者专门的夹持装置进行搬运，人工搬运劳动强度非常大，由于晶圆棒和石英棒的尺寸多种多样，现今所采用的夹持装置结构复杂，通用性差，基本只能对单一尺寸的晶圆棒和石英棒进行搬运，如果每种尺寸的晶圆棒和石英棒都设计一种夹持装置，这无疑会提高生产成本，因此需要对现有的晶圆棒和石英棒的夹持装置的结构进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述问题，设计了一种晶圆棒与石英棒夹紧装置。

实现上述目的本实用新型的技术方案为，一种晶圆棒与石英棒夹紧装置，包括安装圆板，所述安装圆板上设置有电机安装座，所述电机安装座上设置有传动电机，所述安装圆板的正下方设置有底板，所述底板的上部设置有十字型固定座，所述十字型固定座上设置有用于夹紧晶圆棒的夹爪装置，所述传动电机通过丝杆与所述夹爪装置传动连接，并通过丝杆传动的方式控制夹爪装置的张合。

作为本实用新型的进一步补充，所述安装圆板的底部沿圆周方向上等间距设置有若干支撑杆，所述安装圆板通过若干支撑杆与所述底板连接。

作为本实用新型的进一步补充，所述夹爪装置包括十字型连接座和若干夹爪件，所述十字型连接座的每一端都通过连杆件与所述夹爪件连接，且所述连杆件的两端分别和十字型连接座和夹爪件铰连接。

作为本实用新型的进一步补充，所述十字型固定座的每一个棱柱的上部都通过连杆件与相对应的夹爪件的上部连接，且连杆件的两端分别与夹爪件和十字型固定座铰连接；

所述十字型固定座的每一个棱柱的中间部位都通过连杆件与相对应的夹爪件的中间部位连接，且连杆件的两端分别与夹爪件和十字型固定座铰连接。

作为本实用新型的进一步补充，所述传动电机通过丝杆与所述十字型连接座传动连接，且丝杆的下端通过轴承与所述十字型固定座连接。

作为本实用新型的进一步补充，每个夹爪件的夹持面都设置有缓冲垫。

作为本实用新型的进一步补充，所述底板上设置有用于检测底板与晶圆棒或石英棒端面距离的接近传感器。

其有益效果在于，本实用新型中传动电机通过丝杆带动十字型连接座移动，十字型连接座通过连杆件带动四个夹爪张合，接近传感器会检测底板有没有接触到晶圆棒或石英棒的端面，当底板接触到晶圆棒或石英棒的端面后，四个夹爪会闭合将晶圆棒或石英棒夹紧，然后利用机械手将晶圆棒或石英棒移送到指定位置，通过该装置可以对不同尺寸的晶圆棒或石英棒进行夹持作业，通用性强，而且结构简单紧凑，整个装置的制造成本也低。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的另一视角的整体结构示意图；