[实用新型]一种晶圆棒与石英棒夹紧装置

权利要求书

1.一种晶圆棒与石英棒夹紧装置，包括安装圆板(1)，所述安装圆板(1)上设置有电机安装座(2)，所述电机安装座(2)上设置有传动电机(3)，其特征在于，所述安装圆板(1)的正下方设置有底板(4)，所述底板(4)的上部设置有十字型固定座(5)，所述十字型固定座(5)上设置有用于夹紧晶圆棒的夹爪装置(7)，所述传动电机(3)通过丝杆(8)与所述夹爪装置(7)传动连接，并通过丝杆(8)传动的方式控制夹爪装置(7)的张合。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆棒与石英棒夹紧装置，其特征在于，所述安装圆板(1)的底部沿圆周方向上等间距设置有若干支撑杆(6)，所述安装圆板(1)通过若干支撑杆(6)与所述底板(4)连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆棒与石英棒夹紧装置，其特征在于，所述夹爪装置(7)包括十字型连接座(71)和若干夹爪件(72)，所述十字型连接座(71)的每一端都通过连杆件(73)与所述夹爪件(72)连接，且所述连杆件(73)的两端分别和十字型连接座(71)和夹爪件(72)铰连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆棒与石英棒夹紧装置，其特征在于，所述十字型固定座(5)的每一个棱柱的上部都通过连杆件(73)与相对应的夹爪件(72)的上部连接，且连杆件(73)的两端分别与夹爪件(72)和十字型固定座(5)铰连接；

所述十字型固定座(5)的每一个棱柱的中间部位都通过连杆件(73)与相对应的夹爪件(72)的中间部位连接，且连杆件(73)的两端分别与夹爪件(72)和十字型固定座(5)铰连接。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆棒与石英棒夹紧装置，其特征在于，所述传动电机(3)通过丝杆(8)与所述十字型连接座(71)传动连接，且丝杆(8)的下端通过轴承与所述十字型固定座(5)连接。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆棒与石英棒夹紧装置，其特征在于，每个夹爪件(72)的夹持面都设置有缓冲垫(9)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆棒与石英棒夹紧装置，其特征在于，所述底板(4)上设置有用于检测底板(4)与晶圆棒或石英棒端面距离的接近传感器(10)。