[实用新型]一种平面压电驱动器

说明书

本申请公开了一种平面压电驱动器，包括：驱动部件、运动部件、预紧部件、支撑部件；运动部件位于驱动部件的驱动末端，预紧部件用于对运动部件施加朝向驱动部件的预紧力；支撑部件用于支撑驱动组件；驱动部件包括两组压电单元，两组压电单元均包括多个压电陶瓷腿，其中每个压电陶瓷支腿包括一个纵向伸缩压电叠堆和两个剪切变形方向在空间内正交的横向剪切压电叠堆。在平面压电驱动器运动时，其中一组压电单元用于对运动部件产生钳位运动，另外一组压电单元用于对运动部件产生驱动运动，两组压电单元在电压时序控制下，以控制运动部件在平面内移动，进而提高其应用范围。

技术领域

本申请涉及压电驱动装置技术领域，特别涉及一种平面压电驱动器。

背景技术

压电驱动器是利用压电材料的逆压电效应设计的可输出紧密运动的驱动器，压电驱动器以其高精度、大行程、快速响应等优异性能，被广泛应用于航空航天、微机电系统及纳机电系统、生物医药工程、微纳米光刻和半导体制造及自适应光学等领域。

传统的压电驱动器通常只能在单一方向上实现直线运动输出，因此限制了压电驱动器的应用范围，尤其对于较为复杂的运动，很难进行推广应用。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种平面压电驱动器，能够实现平面内任意方向的运动，从而提高其应用范围。

为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：

一种平面压电驱动器，包括：驱动部件、运动部件、预紧部件、支撑部件；所述运动部件位于所述驱动部件的驱动末端，所述预紧部件用于对所述运动部件施加朝向所述驱动部件的预紧力；所述支撑部件用于支撑所述驱动组件；所述驱动部件包括两组压电单元，两组所述压电单元均包括多个压电陶瓷腿，每个所述压电陶瓷支腿包括一个纵向伸缩压电叠堆和两个剪切变形方向在空间内正交的横向剪切压电叠堆；在平面压电驱动器运动时，其中一组所述压电单元用于对所述运动部件产生钳位运动，另外一组所述压电单元用于对所述运动部件产生驱动运动，两组所述压电单元在电压时序控制下，以控制所述运动部件在平面内移动。

优选地，多个所述压电陶瓷腿沿圆周方向均匀分布，其中一组所述压电单元的相邻的两个所述压电陶瓷腿之间设有一个另外一组所述压电单元的所述压电陶瓷腿。

优选地，所述压电陶瓷支腿还包括位于其末端的耐磨陶瓷薄片，所述耐磨陶瓷薄片与所述运动部件下表面接触。

优选地，所述预紧部件包括压板、螺钉和碟簧，所述压板位于所述运动部件上方，所述压板下方设有滚动部，所述滚动部与所述运动部件的上表面接触；所述支撑部件的中部设有通孔，所述螺钉从所述通孔向上穿出，且与所述压板连接，所述螺钉用于将所述碟簧压紧在所述支撑部件底部。

优选地，所述滚动部为滚珠，所述压板下方设有用于容纳所述滚珠的凹槽。

优选地，所述压板下方设有多个沿圆周方向均匀分布的所述滚珠。

优选地，所述支撑部件的底部设有用于容纳所述螺钉的头部和所述碟簧的凹腔。

与现有技术相比，上述技术方案具有以下优点：

本申请所提供的一种平面压电驱动器，包括：驱动部件、运动部件、预紧部件、支撑部件；运动部件位于驱动部件的驱动末端，预紧部件用于对运动部件施加朝向驱动部件的预紧力；支撑部件用于支撑驱动组件；驱动部件包括两组压电单元，两组压电单元均包括多个压电陶瓷腿，其中每个压电陶瓷支腿包括一个纵向伸缩压电叠堆和两个剪切变形方向在空间内正交的横向剪切压电叠堆，纵向伸缩压电叠堆可在电压作用下产生纵向的伸长和收缩变形，横向剪切压电叠堆可在电压的作用下产生横向剪切变形。在平面压电驱动器运动时，其中一组压电单元用于对运动部件产生钳位运动，另外一组压电单元用于对运动部件产生驱动运动，两组压电单元在电压时序控制下，以控制运动部件在平面内移动，进而提高其应用范围。

附图说明