[实用新型]自动晶圆转换器

说明书

本实用新型涉及一种自动晶圆转换器，包括工作台，工作台内安装有马达、重力传感器、阻力传感器和控制芯片，马达连接有向工作台右侧壁外侧延伸的丝杆，丝杆的外端连接有横向延伸在工作台上方的推杆，马达连接阻力传感器；工作台设有两组弹簧栓，每组弹簧栓对应一个晶舟盒，弹簧栓连接重力传感器，控制芯片连接重力传感器和阻力传感器。本实用新型的自动晶圆转换器的工作台上设有多个定位销，晶舟盒容易与晶舟盒对齐放置，工作台内安装有重力传感器，重力传感器通过两个弹簧栓判断晶舟盒是否放置平稳，指示灯亮起，按下开关，电机开始工作，电机通过丝杆驱动推杆推动晶圆，操作步骤简单，工作效率低。

技术领域

本实用新型涉及晶圆制造设备技术领域，特别是指一种自动晶圆转换器。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆在整个制造过程中均是整批承载在晶舟盒内，晶舟盒根据用途分类有很多种，整个制造过程中，晶圆会在几种晶舟盒中频繁转换，通过人工的方式，将晶舟盒放在靠近推手的一侧，并将待晶舟盒放在晶舟盒对面位置处，确认的晶圆放置是否平稳无误，人工推动推杆将晶圆推入待晶舟盒内，完成对晶圆的放置转换，操作相当冗繁，工作效率低；且在放置晶舟过程中，难以察觉部分晶圆受阻，继续使力推动容易致使晶圆受挤压破损，给厂家带来严重经济损失。

发明内容

本实用新型提供一种自动晶圆转换器，以克服传动人工方式推动晶圆存在操作冗繁、效率低的问题。

本实用新型采用如下技术方案：

自动晶圆转换器，包括工作台，上述工作台内安装有马达、重力传感器、阻力传感器和控制芯片，马达连接有向工作台右侧壁外侧延伸的丝杆，丝杆的外端连接有横向延伸在工作台上方的推杆，马达连接阻力传感器；工作台设有两组弹簧栓，每组弹簧栓对应一个晶舟盒，弹簧栓连接重力传感器，控制芯片连接重力传感器和阻力传感器，工作台表面设有多个定位销，工作台的右端设有竖直挡板。

进一步改进地，上述推杆上可拆卸安装有橡胶棒。

进一步改进地，上述工作台的侧壁安装有上述马达的工作开关。

进一步改进地，上述工作台的侧壁安装有指示灯，该指示灯连接重力传感器。

进一步改进地，上述工作台的底面边角处安装有垫脚。

由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：本实用新型的自动晶圆转换器的工作台上设有多个定位销，晶舟盒容易与晶舟盒对齐放置，工作台内安装有重力传感器，重力传感器通过两个弹簧栓判断晶舟盒是否放置平稳，指示灯亮起，按下开关，电机开始工作，电机通过丝杆驱动推杆推动晶圆，操作步骤简单，工作效率低，另外，阻力传感器监测晶圆移动是否受阻，保护晶圆不受挤压破损，操作安全可靠。

附图说明

图1为本实用新型的晶圆转换器的立体结构示意图。

图2为本实用新型的晶圆转换器与晶舟盒的结构示意图。

图3为本实用新型的晶圆转换器的俯视结构示意图。

图4为本实用新型的晶舟盒的结构示意图。

图5为本实用新型的晶圆转换器的工作原理示意图。

具体实施方式

下面参照附图说明本实用新型的具体实施方式。