[实用新型]一种双层对开辊底式退火炉有效
| 申请号： | 202221305085.0 | 申请日： | 2022-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN217641229U | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 贾炳根;李凤林 | 申请（专利权）人： | 泰州市华鑫炉业有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;C21D9/08;C21D1/26;F27B9/02;F27B9/24 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 朱易顺 |
| 地址： | 225300 江苏省泰*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 双层 对开 辊底式 退火炉 | ||
1.一种双层对开辊底式退火炉，其特征在于，包括主辊座架(1)和辊座架(2)，所述主辊座架(1)的内侧设置有多组输送辊A(4)，所述辊座架(2)的内侧设置有多组输送辊B(5)，所述主辊座架(1)的一侧固定连接有退火炉箱(3)，所述主辊座架(1)表面的两端固定连接有三组支撑腿A(6)，所述辊座架(2)表面的两端固定连接有两组支撑腿B(7)，所述主辊座架(1)表面两端的一侧与辊座架(2)表面两端的一侧皆设置有固定安装机构，所述辊座架(2)表面两端远离固定安装机构的一侧固定连接有拼接机构。
2.根据权利要求1所述的双层对开辊底式退火炉，其特征在于，所述固定安装机构包括固定仓(11)、设置于所述主辊座架(1)表面两端的一侧与辊座架(2)表面两端的一侧，所述固定仓(11)内腔的两端对称设置有固定板(17)，所述固定板(17)的顶端固定设置有双向螺纹杆(14)，且双向螺纹杆(14)贯穿两组固定板(17)，所述固定板(17)外侧壁的顶端与底端皆套设有螺纹套杆(16)，所述固定仓(11)表面的一侧对称开设有定位通口(9)。
3.根据权利要求2所述的双层对开辊底式退火炉，其特征在于，所述拼接机构包括固定块(12)、设置于所述辊座架(2)表面两端远离固定安装机构的一侧，所述固定块(12)顶端的一侧开设有插孔(13)，且固定块(12)的一端通过定位通口(9)延伸至固定仓(11)的内腔，所述螺纹套杆(16)和插孔(13)相互适配。
4.根据权利要求2所述的双层对开辊底式退火炉，其特征在于，所述固定仓(11)表面的两端开设有操作通口(10)，且操作通口(10)与固定仓(11)相互连通。
5.根据权利要求2所述的双层对开辊底式退火炉，其特征在于，所述双向螺纹杆(14)外侧壁两组固定板(17)之间固定套设有把手转盘(15)，且把手转盘(15)的外侧壁套设有防滑纹。
6.根据权利要求1所述的双层对开辊底式退火炉，其特征在于，所述支撑腿B(7)的底端固定连接有滚轮(8)，所述滚轮(8)上设置有制动装置。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
