[实用新型]一种晶圆校准机构

说明书

本实用新型涉及一种晶圆校准机构，包括校准平台、影像轴和扫码器，影像轴位于校准平台沿着X轴负方向一侧的上方位置，扫码器位于校准平台沿着Y轴正方向一侧的上方位置。本实用新型一种晶圆校准机构，采用螺纹配合弹垫的结构来调整水平固定板的平面度；半透明的吸附台和背光源使用，再配合相机，实现找中心功能，符合半导体行业要求，提高了激光加工效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片加工相关技术领域，尤其涉及一种晶圆校准机构。

背景技术

半导体芯片行业是现在最热门，国家也在大力扶持相关企业科研机构研发，早日实现芯片独立生产，防止被国外“卡脖子”，半导体加工的相关设备也在逐步国产化。芯片制造的过程复杂，工序多，其中硅片切割是其中一个环节，现在多以八寸片为主，以后会做大到十二寸，来提高效率。

目前硅片定位方式有两种：一种是加工台定位；另一种是用校准工位预先定位；

加工台定位时间长，浪费了激光加工的工位时间；

用校准工位进行预先定位，效率大大提高，因为用第二片的等待时间去做预先定位，与正在加工片互不影响。

有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种晶圆校准机构，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种晶圆校准机构。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种晶圆校准机构，包括校准平台、影像轴和扫码器，影像轴位于校准平台沿着X轴负方向一侧的上方位置，扫码器位于校准平台沿着Y轴正方向一侧的上方位置；校准平台包括Y轴线性模组、X轴线性模组、固定支架、水平固定板、吸附台和吸附台固定板，Y轴线性模组上的驱动端通过模组固定板与上方的X轴线性模组沿着Y轴方向驱动连接设置，X轴线性模组上的驱动端通过固定支架与上方的水平固定板沿着X轴方向驱动连接设置，水平固定板上设置有同步带旋转驱动机构和吸附台固定板，同步带旋转驱动机构与吸附台固定板驱动连接设置，吸附台固定板上设置有吸附台。

作为本实用新型的进一步改进，吸附台固定板的正下方设置有光源，光源通过光源固定板安装在水平固定板上。

作为本实用新型的进一步改进，影像轴包括Z轴线性模组、相机固定块和相机，Z轴线性模组通过相机固定块与相机沿着Z轴方向驱动连接设置，相机安装在Z轴线性模组沿着X轴正方向的一侧，且相机位于校准平台的上方位置。

作为本实用新型的进一步改进，同步带旋转驱动机构包括减速机、主动皮带轮、皮带和从动皮带轮，减速机安装在水平固定板的底部一侧，减速机顶部的驱动端与上方的主动皮带轮驱动连接设置，主动皮带轮通过皮带与从动皮带轮啮合传动，吸附台固定板固定在从动皮带轮上。

作为本实用新型的进一步改进，从动皮带轮通过轴承安装在水平固定板上，轴承压入轴承固定板的槽内，轴承固定板固定在水平固定板上，通过外圈压板压住轴承外圈，从动皮带轮压入轴承内孔，另一侧用内圈压板压住轴承内圈。

作为本实用新型的进一步改进，轴承固定板上设置有传感器，从动皮带轮上设置有与传感器相配合的感应拨片。

作为本实用新型的进一步改进，水平固定板和固定支架之间通过调节螺钉和调节螺套连接在一起，调节螺套拧入水平固定板的螺纹孔内，弹垫套入调节螺钉后整体穿过调节螺套的中心孔，并拧入固定支架的螺纹孔内。

作为本实用新型的进一步改进，吸附台和吸附台固定板之间设置有密封圈，密封圈放入吸附台固定板顶部的槽内，吸附台固定板底部的中心螺纹孔内拧入有旋转接头。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：