[实用新型]一种晶圆校准机构

权利要求书

1.一种晶圆校准机构，其特征在于，包括校准平台(1)、影像轴(2)和扫码器(3)，所述影像轴(2)位于校准平台(1)沿着X轴负方向一侧的上方位置，所述扫码器(3)位于校准平台(1)沿着Y轴正方向一侧的上方位置；所述校准平台(1)包括Y轴线性模组(1-1)、X轴线性模组(1-3)、固定支架(1-4)、水平固定板(1-5)、吸附台(1-7)和吸附台固定板(1-20)，所述Y轴线性模组(1-1)上的驱动端通过模组固定板(1-2)与上方的X轴线性模组(1-3)沿着Y轴方向驱动连接设置，所述X轴线性模组(1-3)上的驱动端通过固定支架(1-4)与上方的水平固定板(1-5)沿着X轴方向驱动连接设置，所述水平固定板(1-5)上设置有同步带旋转驱动机构和吸附台固定板(1-20)，所述同步带旋转驱动机构与吸附台固定板(1-20)驱动连接设置，所述吸附台固定板(1-20)上设置有吸附台(1-7)。

2.如权利要求1所述的一种晶圆校准机构，其特征在于，所述吸附台固定板(1-20)的正下方设置有光源(1-8)，所述光源(1-8)通过光源固定板(1-9)安装在水平固定板(1-5)上。

3.如权利要求1所述的一种晶圆校准机构，其特征在于，所述影像轴(2)包括Z轴线性模组(2-1)、相机固定块(2-2)和相机(2-3)，所述Z轴线性模组(2-1)通过相机固定块(2-2)与相机(2-3)沿着Z轴方向驱动连接设置，所述相机(2-3)安装在Z轴线性模组(2-1)沿着X轴正方向的一侧，且所述相机(2-3)位于校准平台(1)的上方位置。

4.如权利要求1所述的一种晶圆校准机构，其特征在于，所述同步带旋转驱动机构包括减速机(1-23)、主动皮带轮(1-10)、皮带(1-22)和从动皮带轮(1-17)，所述减速机(1-23)安装在水平固定板(1-5)的底部一侧，所述减速机(1-23)顶部的驱动端与上方的主动皮带轮(1-10)驱动连接设置，所述主动皮带轮(1-10)通过皮带(1-22)与从动皮带轮(1-17)啮合传动，所述吸附台固定板(1-20)固定在从动皮带轮(1-17)上。

5.如权利要求4所述的一种晶圆校准机构，其特征在于，所述从动皮带轮(1-17)通过轴承(1-18)安装在水平固定板(1-5)上，所述轴承(1-18)压入轴承固定板(1-13)的槽内，所述轴承固定板(1-13)固定在水平固定板(1-5)上，通过外圈压板(1-14)压住轴承(1-18)外圈，所述从动皮带轮(1-17)压入轴承(1-18)内孔，另一侧用内圈压板(1-15)压住轴承(1-18)内圈。

6.如权利要求5所述的一种晶圆校准机构，其特征在于，所述轴承固定板(1-13)上设置有传感器(1-19)，所述从动皮带轮(1-17)上设置有与传感器(1-19)相配合的感应拨片。

7.如权利要求1所述的一种晶圆校准机构，其特征在于，所述水平固定板(1-5)和固定支架(1-4)之间通过调节螺钉(1-6)和调节螺套(1-12)连接在一起，所述调节螺套(1-12)拧入水平固定板(1-5)的螺纹孔内，弹垫(1-11)套入所述调节螺钉(1-6)后整体穿过调节螺套(1-12)的中心孔，并拧入固定支架(1-4)的螺纹孔内。

8.如权利要求1所述的一种晶圆校准机构，其特征在于，所述吸附台(1-7)和吸附台固定板(1-20)之间设置有密封圈(1-21)，所述密封圈(1-21)放入吸附台固定板(1-20)顶部的槽内，所述吸附台固定板(1-20)底部的中心螺纹孔内拧入有旋转接头(1-16)。