[实用新型]一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置有效
| 申请号: | 202220789206.7 | 申请日: | 2022-04-07 |
| 公开(公告)号: | CN217562586U | 公开(公告)日: | 2022-10-11 |
| 发明(设计)人: | 孙刘竹;李冰;朱泽宇;代昊天 | 申请(专利权)人: | 苏州库睿斯自动化设备有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 江苏智天知识产权代理有限公司 32550 | 代理人: | 翟国明 |
| 地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 太阳能 硅片 湿法 定量 添加 装置 | ||
本实用新型公开了一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置,应用在太阳能电池片制造领域,其技术方案要点是:一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置,包括用于容纳所需添加介质的竖直放置的桶身,所述桶身的顶部固定连接有上盖,底部固定连接有下盖;还包括固定连接于设备安装处的传感器固定座以及一端固定连接于所述传感器固定座上,用于计算所述桶身内介质质量的传感器组件,所述下盖上固定连接控制介质添加的添加气动阀;具有的技术效果是:结构简单,使用成本低。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片制造领域,特别涉及一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置。
背景技术
太阳能电池片的制造过程需要经过很多个工艺,每一个工艺都需要不同的介质来与硅片发生反应,在反应过程中介质量及浓度均会衰减,因此需要定时添加一定量的介质来保证工艺要求。
现有的添加计量计多为磁质伸缩类,此类计量方式虽然精确度很高但对于添加桶内介质液面平稳度有较高要求,稍有波动就可能产生误差及报警,从而导致设备停止工作,对设备产生一定的损害,因此在补液及添加时需要控制介质流量防止液面波动,所以添加及补液效率相对较低,具有改进的空间。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置,其优点是结构简单,使用成本低。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置,包括用于容纳所需添加介质的竖直放置的桶身,所述桶身的顶部固定连接有上盖,底部固定连接有下盖;还包括固定连接于设备安装处的传感器固定座以及一端固定连接于所述传感器固定座上,用于计算所述桶身内介质质量的传感器组件,所述下盖上固定连接控制介质添加的添加气动阀。
通过上述技术方案,传感器固定座固定连接于设备安装处用于固定传感器组件,传感器组件通过重力传感器来计算测量桶身内的介质质量,当设备需要介质添加时,传感器组件接受到信号并计算桶身的质量并进行介质的自动添加,当桶身内的介质重量到达设定值时,系统给固定连接在下盖上的添加气动阀出液信号,添加气动阀从关闭状态变为开启状态将桶身内部的介质添加到硅片制作原料中,当桶身内的质量减小到设定的值时,系统控制添加气动阀关闭从而停止添加介质,结构简单,且由于计量方式采用重力测量的方式,因此无需像现有技术一样考虑液面是否波动,同时该实用新型相较于现有技术而言仅仅使用了重力传感器来进行重力测量,使用成本较低,但达到的效果与现有技术达到的效果相同。
本实用新型进一步设置为:所述上盖上固定连接有自动进液组件,所述自动进液组件包括固定连接于所述上盖上的进液弯管以及固定连接于所述进液弯管远离与所述上盖连接的端部,用于自动控制向所述桶身进液的进液气动阀。
通过上述技术方案,当设备需要进行介质添加时,系统控制自动进液组件自动向桶身内进行介质添加,此时进液气动阀由关闭状态变为开启状态,控制介质经过两端固定连接在进液气动阀以及上盖上的进液弯管流入桶身内,完成介质的添加过程。
本实用新型进一步设置为:所述传感器组件包括固定连接于所述传感器固定座上,用于检测所述桶身内介质质量的悬臂梁单点称重传感器以及固定连接于所述上盖顶部端面的顶部吊盖,所述顶部吊盖上固定连接有与所述悬臂梁单点称重传感器卡接的悬臂。
通过上述技术方案,传感器固定座将悬臂梁单点称重传感器一端固定连接在传感器固定座上,在上盖顶部端面固定连接顶部吊盖并且在顶部吊盖上固定连接与悬臂梁单点承重传感器卡接的悬臂,桶身的重力通过顶部吊盖传递到与之相连的悬臂上,悬臂将桶身的重量转变为下压力传递到悬臂梁单点称重传感器上从而完成实时称重的功能。
本实用新型进一步设置为:所述悬臂包括一端卡接于所述悬臂梁单点称重传感器上的卡接部以及固定连接于所述卡接部一端且相贴于所述悬臂梁单点称重传感器,用于下压所述悬臂梁单点称重传感器未固定端的下压部。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





