[实用新型]一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置有效
| 申请号: | 202220789206.7 | 申请日: | 2022-04-07 |
| 公开(公告)号: | CN217562586U | 公开(公告)日: | 2022-10-11 |
| 发明(设计)人: | 孙刘竹;李冰;朱泽宇;代昊天 | 申请(专利权)人: | 苏州库睿斯自动化设备有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 江苏智天知识产权代理有限公司 32550 | 代理人: | 翟国明 |
| 地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 太阳能 硅片 湿法 定量 添加 装置 | ||
1.一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置,包括用于容纳所需添加介质的竖直放置的桶身(1),所述桶身(1)的顶部固定连接有上盖(2),底部固定连接有下盖(3);其特征在于,还包括固定连接于设备安装处的传感器固定座(4)以及一端固定连接于所述传感器固定座(4)上,用于计算所述桶身(1)内介质质量的传感器组件(5),所述下盖(3)上固定连接控制介质添加的添加气动阀(7)。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置,其特征在于,所述上盖(2)上固定连接有自动进液组件(6),所述自动进液组件(6)包括固定连接于所述上盖(2)上的进液弯管(61)以及用于自动控制向所述桶身(1)进液的进液气动阀(62),所述进液气动阀(62)与所述进液弯管(61)的一端部连接,且该端部远离所述进液弯管(61)与所述上盖(2)连接的另一端部。
3.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置,其特征在于,所述传感器组件(5)包括固定连接于所述传感器固定座(4)上,用于检测所述桶身(1)内介质质量的悬臂梁单点称重传感器(53)以及固定连接于所述上盖(2)顶部端面的顶部吊盖(51),所述顶部吊盖(51)上固定连接有与所述悬臂梁单点称重传感器(53)卡接的悬臂(52)。
4.根据权利要求3所述的一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置,其特征在于,所述悬臂(52)包括一端卡接于所述悬臂梁单点称重传感器(53)上的卡接部(521)以及固定连接于所述卡接部(521)一端且相贴于所述悬臂梁单点称重传感器(53),用于下压所述悬臂梁单点称重传感器(53)未固定端的下压部(522)。
5.根据权利要求4所述的一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置,其特征在于,所述卡接部(521)包括卡接在卡接槽(45)内,用于卡接所述悬臂梁单点称重传感器(53)的卡接块(5211)以及固定连接于所述卡接块(5211)上,用于连接所述下压部(522)的连接块(5212),所述卡接槽(45)位于所述悬臂梁单点称重传感器(53)端面与所述传感器固定座(4)之间。
6.根据权利要求3所述的一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置,其特征在于,所述传感器固定座(4)上开设有用于固定容纳所述悬臂梁单点称重传感器(53)的容纳槽(43),所述传感器固定座(4)包括第一传感器固定座(41)以及第二传感器固定座(42),所述第一传感器固定座(41)与所述第二传感器固定座(42)上的容纳槽(43)相对设置连接,用于固定所述悬臂梁单点称重传感器(53)一端。
7.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置,其特征在于,所述下盖(3)固定连接有安全溢流管(8),所述安全溢流管(8)穿入所述桶身(1)且距离所述下盖(3)端面一定高度。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





