[实用新型]一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置有效

专利信息
申请号: 202220789206.7 申请日: 2022-04-07
公开(公告)号: CN217562586U 公开(公告)日: 2022-10-11
发明(设计)人: 孙刘竹;李冰;朱泽宇;代昊天 申请(专利权)人: 苏州库睿斯自动化设备有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 江苏智天知识产权代理有限公司 32550 代理人: 翟国明
地址: 215000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 太阳能 硅片 湿法 定量 添加 装置
【权利要求书】:

1.一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置,包括用于容纳所需添加介质的竖直放置的桶身(1),所述桶身(1)的顶部固定连接有上盖(2),底部固定连接有下盖(3);其特征在于,还包括固定连接于设备安装处的传感器固定座(4)以及一端固定连接于所述传感器固定座(4)上,用于计算所述桶身(1)内介质质量的传感器组件(5),所述下盖(3)上固定连接控制介质添加的添加气动阀(7)。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置,其特征在于,所述上盖(2)上固定连接有自动进液组件(6),所述自动进液组件(6)包括固定连接于所述上盖(2)上的进液弯管(61)以及用于自动控制向所述桶身(1)进液的进液气动阀(62),所述进液气动阀(62)与所述进液弯管(61)的一端部连接,且该端部远离所述进液弯管(61)与所述上盖(2)连接的另一端部。

3.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置,其特征在于,所述传感器组件(5)包括固定连接于所述传感器固定座(4)上,用于检测所述桶身(1)内介质质量的悬臂梁单点称重传感器(53)以及固定连接于所述上盖(2)顶部端面的顶部吊盖(51),所述顶部吊盖(51)上固定连接有与所述悬臂梁单点称重传感器(53)卡接的悬臂(52)。

4.根据权利要求3所述的一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置,其特征在于,所述悬臂(52)包括一端卡接于所述悬臂梁单点称重传感器(53)上的卡接部(521)以及固定连接于所述卡接部(521)一端且相贴于所述悬臂梁单点称重传感器(53),用于下压所述悬臂梁单点称重传感器(53)未固定端的下压部(522)。

5.根据权利要求4所述的一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置,其特征在于,所述卡接部(521)包括卡接在卡接槽(45)内,用于卡接所述悬臂梁单点称重传感器(53)的卡接块(5211)以及固定连接于所述卡接块(5211)上,用于连接所述下压部(522)的连接块(5212),所述卡接槽(45)位于所述悬臂梁单点称重传感器(53)端面与所述传感器固定座(4)之间。

6.根据权利要求3所述的一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置,其特征在于,所述传感器固定座(4)上开设有用于固定容纳所述悬臂梁单点称重传感器(53)的容纳槽(43),所述传感器固定座(4)包括第一传感器固定座(41)以及第二传感器固定座(42),所述第一传感器固定座(41)与所述第二传感器固定座(42)上的容纳槽(43)相对设置连接,用于固定所述悬臂梁单点称重传感器(53)一端。

7.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片湿法制程定量添加装置,其特征在于,所述下盖(3)固定连接有安全溢流管(8),所述安全溢流管(8)穿入所述桶身(1)且距离所述下盖(3)端面一定高度。

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