[实用新型]一种捡晶机入料区tray盘防反向装置

说明书

本实用新型公开了半导体捡晶设备领域内的一种捡晶机入料区tray盘防反向装置，包括捡晶入料区，所述捡晶入料区包括四根两两对应分布的竖直固定导向柱，tray盘呈矩形，tray盘的任一边角处设置有定位缺口，固定导向柱上均对应tray盘的边角开设有竖直的导向槽，tray盘的边角与对应导向槽相匹配设置，固定导向柱的顶端均开设有固定螺纹孔，任一固定导向柱上固定连接有定位件，所述定位件包括连为一体的水平固定板和竖直定位板，固定板通过紧固螺栓与相应固定导向柱的固定螺纹孔相连接，定位板位于相应导向槽内，定位板的左右两侧边分别抵靠导向槽的两侧内壁设置，定位板背面与tray盘的定位缺口相对设置。本实用新型能够将定位件固定在入料区，防止tray盘反向。

技术领域

本实用新型属于半导体捡晶设备领域，特别涉及一种捡晶机入料区tray盘防反向装置。

背景技术

Tray盘是用来装载IC的托盘体，捡晶机入料区用来放置空tray盘，便于取用tray盘并将多个IC放置进入tray盘。现有技术中，捡晶机入料区无卡控tray盘缺口方向的装置，人员在向捡晶机入料区补充tray盘时，通过查找作业卡（runcard）上标识的tray盘缺口方向,将tray盘放置到入料区，其不足之处在于：（1）无法有效的管控tray盘放置方向，容易出现tray盘方向放反；（2）正常作业过程中，由于无卡控tray盘缺角装置，操作人员长时间作业容易出现tray盘方向放置错误，会导致置晶不良或IC反向，造成IC产品电性改变影响产品品质。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种捡晶机入料区tray盘防反向装置，能够将定位件固定在入料区，用于固定空tray盘的定位缺口方向，从而防止tray盘反向，防止最终tray盘上装载的IC反向后电性能异常等风险。

本实用新型的目的是这样实现的：一种捡晶机入料区tray盘防反向装置，包括捡晶入料区，所述捡晶入料区包括四根两两对应分布的竖直固定导向柱，四根固定导向柱分别与tray盘的四个边角一一对应设置，所述tray盘呈矩形，tray盘的任一边角处设置有定位缺口，每根所述固定导向柱上均对应tray盘的边角开设有竖直的导向槽，tray盘的边角与对应导向槽相匹配设置，所述固定导向柱的顶端均开设有固定螺纹孔，任一固定导向柱上固定连接有定位件，所述定位件包括连为一体的水平固定板和竖直定位板，固定板通过紧固螺栓与相应固定导向柱的固定螺纹孔相连接，定位板位于相应导向槽内，定位板的左右两侧边分别抵靠导向槽的两侧内壁设置，定位板背面与tray盘的定位缺口相对设置。

本实用新型通过在捡晶入料区增加定位tray盘缺口的定位件，来防止tray盘方向放置错误，根据作业卡的作业要求在相应的固定导向柱上安装定位件，使用时，根据作业卡（runcard）标识的tray盘定位缺口方向将tray盘放置到入料区，由于定位件的限位作用，tray盘的边角无法放入定位件的固定导向柱位置，只有tray盘定位缺口才可以放入定位件的固定导向柱，保证tray盘正确放置。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：在捡晶机入料区原有基础上增加定位件，定位件由入料区上端延伸到入料区下端，可以有效解决tray盘方向放反的问题；有效管控tray盘定位缺口放置方向，预防人员tray盘缺口方向放反。

作为本实用新型的进一步改进，所述导向槽的截面呈正方形，定位板与导向槽的两侧内壁所在平面的夹角均为45°。定位板与tray盘定位缺口的倾斜角度相等，便于tray盘位置的正确放置。

作为本实用新型的进一步改进，所述固定导向柱的顶端开设有L形减磨槽，导向槽的长度与固定导向柱的长度相等，减磨槽位于导向槽外侧，减磨槽的槽深为4~5mm，定位件的固定板与固定导向柱之间设置有减磨垫板，减磨垫板上开设有可容紧固螺栓穿过的通孔。减磨槽可以避免定位件固定板与固定导向柱产生磨损，减磨垫板的材质为亚克力，避免定位件与固定导向柱磨损产生颗粒，不会导致影响tray盘上IC产品的电性能。