[实用新型]对位设备

说明书

本实用新型公开一种对位设备，其包含有一第一载台、一第二载台、及一镜头模块。所述第一载台具有一第一承载面、及自所述第一承载面形成有一观察窗口。所述第一承载面用以供一第一对象置于其上，并使所述第一对象的第一对位标记的位置对应于所述观察窗口。所述第二载台具有一第二承载面，用以供一第二对象置于其上，并使所述第二对象的第二对位标记的位置对应于所述观察窗口。所述第一载台与所述第二载台能通过相对地移动，以使得所述第一对位标记与所述第二对位标记落在所述镜头模块的一景深范围内。据此，所述第一对象与所述第二物件能在间隔较小的相对位置之下完成对位，进而利于准确地实施后续作业。

技术领域

本实用新型涉及一种对位设备，尤其涉及一种利于缩小对位误差的对位设备。

背景技术

现有对位设备是通过将一读取单元移动至待对位的两个对象之间，据以分别读取待对位的两个所述对象的对位标记，进而实现两个所述对象的对位作业。然而，在现有对位设备的架构之下，两个所述对象之间的分开距离较大，因而不利于在上述对位作业之后，对两个所述对象实施后续的其他作业。

于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本实用新型。

实用新型内容

本实用新型实施例在于提供一种对位设备及对位方法，其能改善现有对位设备所可能产生的缺陷。

本实用新型实施例公开一种对位设备，其包括：一第一载台，具有一第一承载面，并且第一载台自第一承载面沿一预设方向形成有一观察窗口；其中，第一载台的第一承载面用以供一第一对象置于其上，并使第一对象的第一对位标记的位置对应于观察窗口；一第二载台，具有一第二承载面，用以供一第二对象置于其上，并使第二对象的第二对位标记的位置对应于观察窗口；以及一镜头模块，其沿预设方向对应于第一载台的观察窗口设置，并且镜头模块具有一景深范围；其中，第一载台与第二载台能通过相对地移动，以使得第一对位标记与第二对位标记落在镜头模块的景深范围内，以供镜头模块通过观察窗口且沿预设方向进行观察。

可选地，对位设备进一步包括有一补偿机构，其安装于第一载台与第二载台的至少其中之一；其中，补偿机构能依据镜头模块的观察结果，而对应地调整第一载台与第二载台的相对位置。

可选地，补偿机构包含有具备不同补偿精度的多组补偿单元。

可选地，对位设备进一步包括有：一第一腔体，其内部安装有第一载台；一第二腔体，其内部安装有第二载台，并且第一腔体与第二腔体能闭合而共同构成一作业腔室；以及一抽气模块，连通于第一腔体与第二腔体的至少其中之一，用以对作业腔室进行抽气。

可选地，镜头模块选择性地移动进入第一腔体且沿预设方向面向观察窗口。

可选地，镜头模块固定于第一腔体的内部且沿预设方向面向观察窗口。

可选地，第一腔体与第二腔体未设有任何观察窗口。

可选地，观察窗口包含位于第一载台不同侧且呈镂空状的多个穿孔。

可选地，观察窗口包含位于第一载台不同侧的多个穿孔，并且观察窗口于每个穿孔内镶嵌有一透明体。

可选地，镜头模块的景深范围小于100微米。

综上所述，本实用新型实施例所公开的对位设备，能通过在所述第一载台形成有所述观察窗口，以使所述镜头模块能通过所述观察窗口来观察位于其所述景深范围内的所述第一对位标记与所述第二对位标记，来令所述第一对象与所述第二对象在间隔较小的相对位置之下完成对位，进而利于所述第一对象与所述第二对象准确地实施后续作业。

为能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本实用新型，而非对本实用新型的保护范围作任何的限制。

附图说明