[实用新型]对位设备

权利要求书

1.一种对位设备，其特征在于，所述对位设备包括：

一第一载台，具有一第一承载面，并且所述第一载台自所述第一承载面沿一预设方向形成有一观察窗口；其中，所述第一载台的所述第一承载面用以供一第一对象置于其上，并使所述第一对象的第一对位标记的位置对应于所述观察窗口；

一第二载台，具有一第二承载面，用以供一第二对象置于其上，并使所述第二对象的第二对位标记的位置对应于所述观察窗口；以及

一镜头模块，其沿所述预设方向对应于所述第一载台的所述观察窗口设置，并且所述镜头模块具有一景深范围；

其中，所述第一载台与所述第二载台能通过相对地移动，以使得所述第一对位标记与所述第二对位标记落在所述镜头模块的所述景深范围内，以供所述镜头模块通过所述观察窗口且沿所述预设方向进行观察。

2.依据权利要求1所述的对位设备，其特征在于，所述对位设备进一步包括有一补偿机构，其安装于所述第一载台与所述第二载台的至少其中之一；其中，所述补偿机构能依据所述镜头模块的观察结果，而对应地调整所述第一载台与所述第二载台的相对位置。

3.依据权利要求2所述的对位设备，其特征在于，所述补偿机构包含有具备不同补偿精度的多组补偿单元。

4.依据权利要求1所述的对位设备，其特征在于，所述对位设备进一步包括有：

一第一腔体，其内部安装有所述第一载台；

一第二腔体，其内部安装有所述第二载台，并且所述第一腔体与所述第二腔体能闭合而共同构成一作业腔室；以及

一抽气模块，连通于所述第一腔体与所述第二腔体的至少其中之一，用以对所述作业腔室进行抽气。

5.依据权利要求4所述的对位设备，其特征在于，所述镜头模块选择性地移动进入所述第一腔体且沿所述预设方向面向所述观察窗口。

6.依据权利要求4所述的对位设备，其特征在于，所述镜头模块固定于所述第一腔体的所述内部且沿所述预设方向面向所述观察窗口。

7.依据权利要求4所述的对位设备，其特征在于，所述第一腔体与所述第二腔体未设有任何观察窗口。

8.依据权利要求1所述的对位设备，其特征在于，所述观察窗口包含位于所述第一载台不同侧且呈镂空状的多个穿孔。

9.依据权利要求1所述的对位设备，其特征在于，所述观察窗口包含位于所述第一载台不同侧的多个穿孔，并且所述观察窗口于每个所述穿孔内镶嵌有一透明体。

10.依据权利要求1所述的对位设备，其特征在于，所述镜头模块的所述景深范围小于100微米。