[实用新型]一种供显微镜载晶检验的治具

权利要求书

1.一种供显微镜载晶检验的治具，包括用于定位晶圆的承载治具，其特征在于：所述承载治具上成型有多个同轴对齐的且大小不一的凹槽，承载治具侧端部设置有多个旋转手把，承载治具设置有缺口，缺口内设置有对晶圆上顶的升降顶起机构，升降顶起机构包括在缺口内升降的顶起块，顶起块顶部设置有多个与晶圆底面接触的吸盘件。

2.根据权利要求1所述的一种供显微镜载晶检验的治具，其特征在于：所述凹槽的截面形状与晶圆形状相同，且均为圆形槽，凹槽的直径由底往高逐渐增加。

3.根据权利要求1所述的一种供显微镜载晶检验的治具，其特征在于：所述缺口的一端延伸至凹槽的中心，缺口内设置有对顶起块进行滑动安装的支撑架，顶起块底部设置有在支撑架上升降滑动的滑动支撑座。

4.根据权利要求3所述的一种供显微镜载晶检验的治具，其特征在于：所述升降顶起机构还包括在缺口沿长度方向往复滑动的驱动滑块，驱动滑块与滑动支撑座滑动配合并带动滑动支撑座做升降运动。

5.根据权利要求4所述的一种供显微镜载晶检验的治具，其特征在于：所述滑动支撑座整体截面呈倒等腰梯形，支撑架成型有与滑动支撑座滑动配合的漏斗槽，滑动支撑座底面成型有第一斜面，驱动滑块成型有与第一斜面的倾斜角度相同的第二斜面。

6.根据权利要求5所述的一种供显微镜载晶检验的治具，其特征在于：所述缺口沿长度方向设置有可转动的调节丝杆，驱动滑块安装有与调节丝杆螺纹配合的调节螺套，调节丝杆可转动地带动驱动滑块在缺口内沿长度方向滑动。

7.根据权利要求6所述的一种供显微镜载晶检验的治具，其特征在于：所述缺口内外两端分别设置有用于安装调节丝杆的轴承座，调节丝杆的外端设置有用于带动调节丝杆转动的手动旋扭手柄。

8.根据权利要求1～7任一项所述的一种供显微镜载晶检验的治具，其特征在于：所述旋转手把的数量为4个以上，并呈环状等距布置在承载治具的外侧壁。