[实用新型]一种用于调节半导体阀门位置的夹具

说明书

本申请涉及阀门夹具的技术领域，尤其涉及一种用于调节半导体阀门位置的夹具，其技术方案是：包括连接体，所述连接体包括固定块与卡接组件，所述卡接组件设置在固定块外侧壁上，所述卡接组件用于包裹真空阀门外侧壁，所述固定块的底壁用于抵接真空阀门顶部，所述固定块底部中心出设置有让位凹槽；所述卡接组件包括固定卡接块与调节卡接块，所述固定卡接块与调节卡接块的底部均设有卡爪，所述调节卡接块的侧壁上设有调节螺杆，所述固定块的侧壁上设有供调节螺杆穿设的调节螺孔，所述调节螺杆上设有螺纹连接的调节螺母；本申请具有适应不同大小真空阀门大小。

技术领域

本实用新型涉及阀门夹具的技术领域，特别是涉及一种用于调节半导体阀门位置的夹具。

背景技术

真空阀门是指在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件。

真空阀门在使用一段时间后，需要对真空阀门进行检测或者维修，检测维修的过程中对真空阀门进行拆卸处理，但由于真空阀门内设有弹簧，安装常规的拆卸方法，在松动螺丝后，设置在阀门内的弹簧在自身弹性的作用下，弹射阀体，进而造成了一定危险。因此在有效拆卸真空阀门的前提下，还要保证减小对真空阀门损伤，进而本申请提供了一种用于调节半导体阀门位置的夹具。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于调节半导体阀门位置的夹具。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种用于调节半导体阀门位置的夹具，包括连接体，所述连接体包括固定块与卡接组件，所述卡接组件设置在固定块外侧壁上，所述卡接组件用于包裹真空阀门外侧壁，所述固定块的底壁用于抵接真空阀门顶部，所述固定块底部中心出设置有让位凹槽；

所述卡接组件包括固定卡接块与调节卡接块，所述固定卡接块与调节卡接块的底部均设有卡爪，所述调节卡接块的侧壁上设有调节螺杆，所述固定块的侧壁上设有供调节螺杆穿设的调节螺孔，所述调节螺杆上设有螺纹连接的调节螺母；

所述让位凹槽用于包裹真空阀门顶部数据线。

优选的，所述调节卡接块上设有调节件，所述调节件包括套设在调节螺杆上的调节弹簧，所述调节螺孔设置为阶梯状，所述调节螺孔包括调节孔与固定孔，所述调节弹簧设置的调节孔内。

优选的，所述调节件还包括设置在调节卡接块侧壁上的调节块，所述调节块穿设在调节螺杆上，所述调节块上设有供调节螺杆穿设的安装孔。

优选的，所述调节块的侧壁上还有橡胶层。

优选的，所述卡爪上用于夹持真空阀门的一侧设有保护垫。

优选的，所述让位凹槽包括设置在固定块中心轴处的圆形凹槽，还包括连通圆形凹槽的直线凹槽。

优选的，所述连接体的外周侧设置有均匀分布的定位凹槽，所述定位凹槽用于拆卸底部真空阀门。

优选的，所述连接体的底部设置有缓冲橡胶垫。

本实用新型的有益效果：

1、在拆卸真空阀门时，将连接体放置到真空阀门的顶部，并利用调节卡接块对真空阀门的顶部外周侧进行调节卡接，使得连接体固定在真空阀门顶部，进而连接体顶部的压缩机向下压缩连接体顶部，在拆卸真空阀门后，由于顶部设置有连接体，使得真空阀门内的弹簧不会在弹性作用下直接弹出，进而达到保护真空阀门的效果；

2、利用可调节设置的调节卡接块，使得连接体的底部能够适应不同大小的真空阀门，提高连接体的适应性；

3、通过调节件的设置，采用调节弹簧穿设在调节孔内，转动调节螺母使得调节卡接块跟随移动，进而改变两个相对卡爪的距离，以适应不同大小的真空阀门。

附图说明