[实用新型]一种电子元器件氟油检漏装置有效

专利信息
申请号: 202220533923.3 申请日: 2022-03-11
公开(公告)号: CN216791545U 公开(公告)日: 2022-06-21
发明(设计)人: 刘征;李晶;谢天;赵发展 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G01M3/20 分类号: G01M3/20
代理公司: 北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 11386 代理人: 和欢庆
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 电子元器件 检漏 装置
【说明书】:

实用新型涉及一种电子元器件氟油检漏装置,属于电子元器件检测设备技术领域,解决了现有技术中承载盘无法适应不同规格的元器件、元器件容易受损以及承载盘不便转运的问题。氟油检漏装置,包括元器件承载盘和承载盘放置架,所述元器件承载盘能够平行叠放在承载盘放置架内,且两者均设置有漏油孔;所述元器件承载盘包括底盘、侧边和隔挡板,所述侧边设置于所述底盘的外周组成元器件容纳盘,所述隔挡板连接于所述元器件容纳盘内;所述承载盘放置架包括侧架、底架和提手,所述侧架固定连接于底架的两端,所述提手设置于侧架上。本实用新型实现了承载盘适应不同规格的元器件的目的,同时降低了元器件的受损概率,且解决了承载盘不便转运的问题。

技术领域

本实用新型涉及电子元器件检测设备技术领域,尤其涉及一种电子元器件氟油检漏装置。

背景技术

随着电子元器件技术的迅猛发展,应用于高可靠电子系统的半导体元器件性能日益先进,封装结构日益复杂和多样化,使用环境也变得更加苛刻,产品供货周期短,数量需求大,因此对元器件的筛选测试过程提出了更高的要求。在密封性检漏氟油加压筛选测试过程中,需要对被测元器件进行氦气和氟油的加压和浸没,将氟油压入元器件封装,需要氟油顺畅的流过批量被测元器件,并完全浸没。

在筛选测试过程中,现有装置无法兼容多种封装尺寸和外形的元器件,只能通过减少被测元器件数量的方式,实现盛放不同封装元器件的目的。批量筛选测试过程中,充气、充氟油过程和气体、氟油回流过程产生的流体冲击,使被测元器件位移,元器件之间以及元器件与装置之间磕碰,使精密元器件封装被意外划伤的概率大大增加。且现有技术中,元器件承载盘的转移都是单个转移,使得整个转移过程十分繁琐,效率低,并且增加了承载盘乱序的概率。

实用新型内容

鉴于上述的分析,本实用新型旨在提供一种电子元器件氟油检漏装置,用以解决现有技术中承载盘无法适应不同规格的元器件、元器件容易受损以及承载盘不便转运的问题。

本实用新型的目的主要是通过以下技术方案实现的:

一种电子元器件氟油检漏装置,包括元器件承载盘和承载盘放置架,所述元器件承载盘能够平行叠放在承载盘放置架内,且两者均设置有漏油孔;所述元器件承载盘包括底盘、侧边和隔挡板,所述侧边设置于所述底盘的外周组成元器件容纳盘,所述隔挡板连接于所述元器件容纳盘内;所述承载盘放置架包括侧架、底架和提手,所述侧架固定连接于底架的两端,所述提手设置于侧架上。

进一步地,所述侧边的内壁设置有安装槽,所述安装槽与所述隔挡板配合连接。

进一步地,所述隔挡板设置有多个,每个所述隔挡板上均设置有插槽,各个所述隔挡板通过所述插槽配合连接。

进一步地,所述漏油孔设置在底盘和侧边上,所述隔挡板为实心板。

进一步地,所述承载盘放置架还包括限位连接环;所述限位连接环固定连接于所述侧架上。

进一步地,所述侧架的底边为平边,上边为箭形边;所述限位连接环设置在箭形边的下边缘处。

进一步地,所述侧架为弧状板,其弧度与所述元器件承载盘的弧度相适配。

进一步地,所述侧架和底架上设置有多列相互平行的漏孔排,每列上设置有多个椭圆形长条孔。

进一步地,所述隔挡板包括第一横向隔挡板、第二横向隔挡板、第一纵向隔挡板和第二纵向隔挡板。

进一步地,第一横向隔挡板和第二横向隔挡板平行设置,所述第一纵向隔挡板和第二纵向隔挡板均垂直于所述第一横向隔挡板。

本实用新型至少可实现如下有益效果之一:

(1)本实用新型的元器件承载盘内设置有多个隔挡板,可以将元器件容纳盘分割成多个形状不同区域;使得元器件容纳盘能够兼容多种不同封装尺寸和外形的元器件,实现盛放不同封装元器件的目的。

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