[实用新型]一种衬底固定机构

说明书

本实用新型实施例提供了一种衬底固定机构，属于衬底加工设备技术领域，所述衬底固定机构包括：固定座，所述固定座包括：固定工位，所述固定工位上可容置一带槽的衬底，且所述固定工位可限定衬底的位置；导向槽，所述导向槽位于固定工位的一侧，且所述导向槽具有一导向路径，所述导向路径指向所述固定工位；对位块，所述对位块和所述导向槽适配，所述对位块可沿所述导向槽的导向路径做固定运动；其中，所述对位块的前端设置有一匹配部，所述匹配部和所述槽的形状对应，并通过匹配部确定衬底在固定工位上的适宜位置；达到准确固定衬底的技术效果。

技术领域

本实用新型涉及衬底加工设备技术领域，尤其涉及一种衬底固定机构。

背景技术

蓝宝石晶体，化学成分为氧化铝，化学式(α-Al2O3)，是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合而成，其晶体结构为六方晶格结构。其最大的需求是作为光学和电子仪器制造原料。蓝宝石晶片可以作为用于喷镀硅晶板(КНС结构)的基底，在此基础上制造辐射稳定的、快速反应的集成电路(ИС)。LED蓝宝石晶片指的是用于加工LED衬底片的人造蓝宝石(氧化铝单晶)。人造蓝宝石(氧化铝单晶)可以应用于装饰(如珠宝、表玻等)、工业窗口材料和半导体衬底等，专用于LED衬底的蓝宝石要求特殊的晶向、低的位错密度等等，所以属于人造蓝宝石中的高端产品

早期的倒角工艺只是保护性的倒角，针对notch槽内未进行特别的处理和加工，没有明显的崩、裂即可。确保外延的不破裂，完整性。随着蓝宝石衬底向MiniLED和MicroLED发展，对蓝宝石衬底的定位边——notch槽提出了更高的要求：必须进行保护性倒角，控制“V”槽的深度和张角。这样的技术要求能够很好的控制外延加工由于高温(＞900度)导致的裂片和破片的发生。大幅提高下游客户的良率。但是要做到精准的保护性倒角，就必须做到准确的固定衬底的位置，使得notch槽在倒角砂轮的精准的动作范围内。

所以，现有技术的技术问题在于：如何准确固定衬底。

发明内容

本申请实施例提供一种衬底固定机构，解决了现有技术中如何准确固定衬底的技术问题；达到准确固定衬底的技术效果。

本申请实施例提供一种衬底固定机构，所述衬底固定机构包括：固定座，所述固定座包括：固定工位，所述固定工位上可容置一带槽的衬底，且所述固定工位可限定衬底的位置；导向槽，所述导向槽位于固定工位的一侧，且所述导向槽具有一导向路径，所述导向路径指向所述固定工位；对位块，所述对位块和所述导向槽适配，所述对位块可沿所述导向槽的导向路径做固定运动；其中，所述对位块的前端设置有一匹配部，所述匹配部和所述槽的形状对应，并通过匹配部确定衬底在固定工位上的适宜位置。

作为优先，所述固定工位具体为一吸附工位，所述吸附工位可吸附一个或多个衬底。

作为优先，所述固定工位包括：吸附口，所述吸附口连通一负压源；吸附槽，所述吸附槽围绕吸附口设置，且所述吸附槽和吸附口连通；通过吸附槽使得固定工位吸附衬底。

作为优先，所述固定工位上设置有多个吸附口，多个吸附口共同作用以吸附一衬底。

作为优先，所述固定工位相对于固定座内凹。

作为优先，所述固定工位具体为一圆形区域，且所述固定工位的容置空间大于所述衬底的尺寸。

作为优先，所述导向槽具体为一直槽，且所述导向槽的第一端连通固定工位，导向槽的第二端贯通固定座。

作为优先，所述对位块的宽度和所述导向槽的宽度相同，以使得对位块在导向槽内朝固定工位运动。

作为优先，所述导向槽的第二端设置有向外扩的扩口部。

作为优先，所述固定座上设置有多个固定工位；且所述导向槽设置有一个或多个，使得多个固定工位共用一个导向槽，或者多个固定工位分别对应多个导向槽。