[实用新型]一种衬底固定机构

权利要求书

1.一种衬底固定机构，其特征在于，所述衬底固定机构包括：

固定座，所述固定座包括：

固定工位，所述固定工位上可容置一带槽的衬底，且所述固定工位可限定衬底的位置；

导向槽，所述导向槽位于固定工位的一侧，且所述导向槽具有一导向路径，所述导向路径指向所述固定工位；

对位块，所述对位块和所述导向槽适配，所述对位块可沿所述导向槽的导向路径做固定运动；

其中，所述对位块的前端设置有一匹配部，所述匹配部和所述槽的形状对应，并通过匹配部确定衬底在固定工位上的适宜位置。

2.如权利要求1所述的衬底固定机构，其特征在于，所述固定工位具体为一吸附工位，所述吸附工位可吸附一个或多个衬底。

3.如权利要求2所述的衬底固定机构，其特征在于，所述固定工位包括：

吸附口，所述吸附口连通一负压源；

吸附槽，所述吸附槽围绕吸附口设置，且所述吸附槽和吸附口连通；通过吸附槽使得固定工位吸附衬底。

4.如权利要求2所述的衬底固定机构，其特征在于，所述固定工位上设置有多个吸附口，多个吸附口共同作用以吸附一衬底。

5.如权利要求1所述的衬底固定机构，其特征在于，所述固定工位相对于固定座内凹。

6.如权利要求5所述的衬底固定机构，其特征在于，所述固定工位具体为一圆形区域，且所述固定工位的容置空间大于所述衬底的尺寸。

7.如权利要求1所述的衬底固定机构，其特征在于，所述导向槽具体为一直槽，且所述导向槽的第一端连通固定工位，导向槽的第二端贯通固定座。

8.如权利要求1所述的衬底固定机构，其特征在于，所述对位块的宽度和所述导向槽的宽度相同，以使得对位块在导向槽内朝固定工位运动。

9.如权利要求7所述的衬底固定机构，其特征在于，所述导向槽的第二端设置有向外扩的扩口部。

10.如权利要求1-9中任意一项所述的衬底固定机构，其特征在于，所述固定座上设置有多个固定工位；且所述导向槽设置有一个或多个，使得多个固定工位共用一个导向槽，或者多个固定工位分别对应多个导向槽。