[实用新型]带有过滤单元的通气式晶片盒有效
| 申请号： | 202220291971.6 | 申请日： | 2022-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN217163557U | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 加布·德芙;高伟 | 申请（专利权）人： | 北京通美晶体技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 郑建晖;李英伟 |
| 地址： | 101113 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带有 过滤 单元 通气 晶片 | ||
【权利要求书】：
1.一种带有过滤单元的通气式晶片盒，其特征在于，包括：
上盒体，
下盒体，以及
过滤单元；
其中，所述上盒体和下盒体彼此连接并限定一个中空结构，并且在所述上盒体和/或下盒体上设置有用于连通所述中空结构和外部环境的通气开口，在所述通气开口处设置有所述过滤单元，所述过滤单元用于过滤通过所述通气开口的气体。
2.根据权利要求1所述的带有过滤单元的通气式晶片盒，其特征在于，所述过滤单元为一体式结构，并且与所述通气开口固定连接。
3.根据权利要求2所述的带有过滤单元的通气式晶片盒，其特征在于，所述过滤单元是高效空气过滤器。
4.根据权利要求3所述的带有过滤单元的通气式晶片盒，其特征在于，所述高效空气过滤器通过焊接连接至所述通气开口。
5.根据权利要求1所述的带有过滤单元的通气式晶片盒，其特征在于，所述过滤单元与所述通气开口可拆卸地连接。
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