[实用新型]一种可调脉宽的功率脉冲施加电路

权利要求书

1.一种可调脉宽的功率脉冲施加电路，其特征在于，包括二极管D3、电阻R1、电阻R_C、电容C1、电容C2、电容C5、电容C_C1、电容C_C2、开关SW1、开关SW2、电源VH、开关及VH控制和驱动单元；其中，所述电容C1与源并联；所述电容C_C1和电容C_C2的一端均连接电阻R_C，另一端分别连接母线DUT+和DUT-；所述电源VH与电容C2并联，电源VH的+端通过依次串联的开关SW1、SW2过电容C_C1与母线DUT+连接，电源VH的-端过电容C_C2与母线DUT-连接；所述开关及VH控制和驱动单元用于通过控制开关SW1、SW2的通断、开关时序。

2.如权利要求1所述的可调脉宽的功率脉冲施加电路，其特征在于，所述开关SW1和SW2使用双向阻断开关；或者，所述开关SW1和SW2使用单向开关且开关需要双向阻断时，与开关SW1和SW2串联有开关SW3，开关SW3使用MOS管且SW3的体二极管方向与SW1和SW2的体二极管方向相反；或者，所述开关SW3采用二极管且SW3的体二极管方向与SW1和SW2的体二极管方向相反。

3.如权利要求1所述的可调脉宽的功率脉冲施加电路，其特征在于，还包括脉冲沿调节电路，所述脉冲沿调节电路包括电阻R、开关SW4、开关SW5和电容C，其中，电阻R通过开关SW4与电源VH并联；电容C通过开关SW5一端与电源VH的-端连接，另一端连接于开关SW1和SW2的公共节点。

4.如权利要求1～3任一所述的可调脉宽的功率脉冲施加电路，其特征在于，还包括去耦电路，所述去耦电路有三种实现方式：

(1)包括电感L1和二极管D1，电感L1连接源的输出正，二极管D1与电感L1同向并联；

(2)包括电感L2和二极管D2，电感L2连接源的输出负，二极管D2与电感L2同向并联；

(3)包括电感L1、电感L2、二极管D1和D2；二极管D1和D2分别与电感L1和L2同向并联。

5.如权利要求1～3任一所述的可调脉宽的功率脉冲施加电路，其特征在于，还包括吸收电路，所述吸收电路包括二极管D3、电阻R1和电容C5，其中，所述二极管D3和电阻R1反向并联，所述二极管D3阴极与电阻R1的一端连接母线DUT+，二极管D3阳极与电阻R1的另一端连接后再与电容C5一端连接，所述电容C5的另一端连接母线DUT-。