[实用新型]自归正组件及溅射台

权利要求书

1.一种自归正组件，其特征在于，包括：

支撑环，其内径大于晶圆直径；

多个支撑杆，垂直设置于所述支撑环的一侧环面上；

多个悬臂，以沿所述支撑环的径向且向内侧水平延伸的方式分别设置于多个所述支撑杆的末端；所述悬臂包括连接的倾斜归正部和水平部，所述倾斜归正部与所述支撑杆连接，所述水平部向内侧延伸，且所述倾斜归正部高于所述水平部；多个所述悬臂的水平部的表面共同构建出承托环面且所述承托环面的外径与晶圆直径相等；多个所述悬臂的倾斜归正部共同构建出倒圆台状归正结构。

2.根据权利要求1所述的自归正组件，其特征在于，所述水平部的径向延伸长度M、晶圆直径d0和倒圆台状归正结构的大尺寸端的直径d1的关系满足关系式：M≥(d1-d0)/2。

3.根据权利要求1所述的自归正组件，其特征在于，所述倾斜归正部表面与水平面的夹角α大于或等于30°且小于90°。

4.根据权利要求1-3任一项所述的自归正组件，其特征在于，

所述倾斜归正部的表面呈外凸曲面，且外凸曲面具有在径向上的倾斜凸脊；和/或，

所述水平部的表面呈外凸曲面，且外凸曲面具有在径向上的水平凸脊。

5.根据权利要求1-3任一项所述的自归正组件，其特征在于，所述倾斜归正部的表面和所述水平部的表面为光滑表面。

6.根据权利要求1-3任一项所述的自归正组件，其特征在于，

所述支撑杆的末端端面呈与所述悬臂的倾斜归正部表面一致的倾斜面，且与悬臂的倾斜归正部表面连接形成整体倾斜面，以共同构建倒圆台状归正结构。

7.根据权利要求6所述的自归正组件，其特征在于，所述支撑杆的末端沿其轴向开设有缺口槽，所述悬臂的倾斜归正部嵌固于所述缺口槽内；且所述支撑杆的末端端面与所述倾斜归正部的表面平滑过渡形成整体倾斜面。

8.根据权利要求1-3任一项所述的自归正组件，其特征在于，所述悬臂的倾斜归正部与所述水平部一体成型。

9.根据权利要求1-3任一项所述的自归正组件，其特征在于，倒圆台状归正结构的大尺寸端的圆周直径d1、晶圆直径d0、所述悬臂的数量n和机械手宽度h满足关系式：h≤(2d0-d1)·sin(180°/n)，其中，n≥3且取整数。

10.一种溅射台，其特征在于，包括：

工艺腔室，其内设置有工艺操作台；

如权利要求1至9任一项所述的自归正组件，设置于所述工艺腔室内且位于所述工艺操作台正上方；

升降机构，具有升降末端；所述升降末端伸入所述工艺腔室内且与所述自归正组件连接，以驱动所述自归正组件上升或下降。