[实用新型]一种用于晶圆传输系统的翻转装置的组装装置

说明书

本实用新型公开了一种用于晶圆传输系统的翻转装置的组装装置，包括：承载基座，设置有第一定位单元，晶圆模拟圆盘固定在所述第一定位单元中；所述晶圆模拟圆盘外侧设置有翻转组件，所述翻转组件的轴心线与所述晶圆模拟圆盘的其中一条直径重合；电机基座，设置有电机，且电机输出轴与所述翻转组件固定连接；所述电机输出轴的轴心线、所述翻转组件的轴心线与所述晶圆模拟圆盘的其中一条直径重合。本实用新型大大提高了晶圆翻转装置的组装效率，推进了晶圆传输领域的进一步发展。

技术领域

本实用新型属于晶圆传输领域，具体属于一种用于晶圆传输系统的翻转装置的组装装置。

背景技术

半导体领域中晶圆自动翻转设备在生产过程中需要先对其进行组装，组装之后才能进行晶圆的翻转。其中，在晶圆翻转装置组装过程中尤其需要确保翻转组件与电机输出轴的轴心线重合；当电机输出轴带动翻转组件翻转时，若二者轴心线不重合，则晶圆翻转过程中，翻转组件会带动晶圆进行较大幅度的摆动，使得晶圆无法准确放置在指定位置。

因此在对晶圆翻转设备进行安装的过程中，需要准确定位电机输出轴或电机的位置，还需要准确定位翻转组件的轴心线位置，并使得二者轴心线重合。目前主要依靠组装人员通过测量工具进行组装，并经过多次试验调整来确定最后的安装位置，这样使得晶圆翻转装置安装工艺繁琐，组装效率低下。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一。为此，本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆传输系统的翻转装置的组装装置，大大提高了晶圆翻转装置的组装效率，推进了晶圆传输领域的进一步发展。

为了实现上述目的，本实用新型提出了如下技术方案：一种用于晶圆传输系统的翻转装置的组装装置，包括：

承载基座，设置有第一定位单元，晶圆模拟圆盘固定在所述第一定位单元中；所述晶圆模拟圆盘外侧设置有翻转组件，所述翻转组件的轴心线与所述晶圆模拟圆盘的其中一条直径重合；

电机基座，设置有电机，且电机输出轴与所述翻转组件固定连接；所述电机输出轴的轴心线、所述翻转组件的轴心线与所述晶圆模拟圆盘的其中一条直径重合。

进一步的，还包括固定块，所述固定块内部包括中空腔室；所述固定块通过第一定位单元固定在所述承载基座中，所述电机输出轴伸入至所述中空腔室内部时，电机输出轴在旋转过程与所述固定块的内壁不接触。

进一步的，所述第一定位单元位于所述承载基座的上表面；所述第一定位单元包括第一定位槽和第一定位销，所述第一定位销均匀分布在所述第一定位槽的周边，且第一定位槽与第一定位销在所述电机输出轴延伸方向上的中心线重合。

进一步的，所述承载基座和电机基座固定在底板中，且所述电机基座与所述底板通过第二定位销固定连接。

进一步的，所述承载基座的两侧设置有左固定件和右固定件，所述左固定件和右固定件的中心连线垂直于所述翻转组件的轴心线。

本实用新型提供的上述技术方案与现有技术相比，具有如下优点：本申请中晶圆模拟圆盘和固定块均是以相同的第一定位单元为基准进行安装的，通过这种安装方式，可以确保翻转组件的轴心线与电机输出轴的轴心线重合，这也正是本申请的目的。通过这种方式组装的晶圆翻转装置在翻转过程中，连接在电机输出轴末端的翻转组件和晶圆不会发生摆动，确保翻转的准确性；同时本申请组装装置结构简单，大大提高了晶圆翻转装置的组装效率，推进了晶圆传输领域的进一步发展。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施例，并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。