[实用新型]一种具有加热和真空吸附的输送线有效
申请号: | 202220228526.5 | 申请日: | 2022-01-27 |
公开(公告)号: | CN217361527U | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 孔令野;贺威;杨坤 | 申请(专利权)人: | 苏州沃特维自动化系统有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 广州市时代知识产权代理事务所(普通合伙) 44438 | 代理人: | 周冠宇;申丹宁 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 加热 真空 吸附 输送 | ||
1.一种具有加热和真空吸附的输送线,其特征在于:包括第一真空板组件、第二真空板组件、主动传输机构和从动传输机构;
所述第一真空板组件和第二真空板组件顺次设置,二者均具有吸附功能;所述第二真空板组件还具有加热、固化和降温功能;
所述主动传输机构和从动传输机构通过传送带相连;所述传送带位于所述第一真空板组件和第二真空板组件上方,设有若干个贯通孔,配合所述第一真空板组件和第二真空板组件对物料进行真空吸附。
2.根据权利要求1所述的一种具有加热和真空吸附的输送线,其特征在于:所述第一真空板组件包括第一真空板、多工位真空型腔和若干个气管接头;
所述第一真空板上设有通孔;
所述多工位真空型腔与所述第一真空板相对设置,其包括若干个独立设置的腔体,各腔体的出气口分别与第一真空板上的部分通孔相对应;
各气管接头分别与所述多工位真空型腔的其中一个腔体相连通。
3.根据权利要求2所述的一种具有加热和真空吸附的输送线,其特征在于:所述第一真空板组件还包括第一真空板控制组件,所述第一真空板控制组件包括若干组控制单元,各控制单元均包括顺次相连的电磁阀、节流阀、真空发生器和真空过滤器;
当电磁阀得电后,压缩空气经所述电磁阀、节流阀后进入真空发生器,由所述真空发生器将压缩空气转换为负压,负压通过所述真空过滤器、气管接头和多工位真空型腔给第一真空板,使得第一真空板具有吸附力。
4.根据权利要求1所述的一种具有加热和真空吸附的输送线,其特征在于:所述第二真空板组件包括第二真空板、隔热型腔板、型腔封板、加热元件、温度传感器、真空管道和分气块;
所述第二真空板上设有通孔;
所述隔热型腔板中间镂空;
所述隔热型腔板位于所述型腔封板和加热真空板之间,三者共同形成密封型腔;
所述加热元件设于所述第二真空板内;
所述温度传感器设于所述第二真空板内,检测所述第二真空板内的实时温度;
所述真空管道与所述分气块的一端相连,所述分气块的另一端穿过所述型腔封板后与所述隔热型腔板相连。
5.根据权利要求4所述的一种具有加热和真空吸附的输送线,其特征在于:所述具有加热和真空吸附的输送线还包括负压供给单元和降温单元;
所述负压供给单元的输出端连接有主管道,所述主管道上连接有多个分气管道,各分气管道用于与对应第二真空板组件中的真空管道相连通,为各顺次相连的第二真空板组件提供吸附力,并使吸附力均匀;
所述降温单元的输出端连接有降温主管道,所述降温主管道分别连接有多个降温分气管道,各降温分气管道用于靠近对应的第二真空板下方,将第二真空板底部产生的热量吸走。
6.根据权利要求1或4所述的一种具有加热和真空吸附的输送线,其特征在于:所述第二真空板组件的数量大于或等于3,各第二真空板组件顺次设置,控制各第二真空板组件的温度,形成顺次设置的加热区、固化区和降温区。
7.根据权利要求6所述的一种具有加热和真空吸附的输送线,其特征在于:所述具有加热和真空吸附的输送线还包括双层隔热保温罩,所述双层隔热保温罩覆盖在所述固化区和降温区上。
8.根据权利要求1所述的一种具有加热和真空吸附的输送线,其特征在于:所述主动传输机构包括主动轮底座、主动轮固定板、主动轮、轴承、联轴器、减速机和电机;
所述主动轮固定板与所述主动轮底座相连;
所述主动轮通过轴承与所述主动轮固定板相连,还通过联轴器与减速机的输出端相连;所述电机与所述减速机的输入端相连。
9.根据权利要求8所述的一种具有加热和真空吸附的输送线,其特征在于:所述主动传输机构还包括角度调整块和定位销,所述定位销和角度调整块均与所述主动轮底座相连,二者配合调节主动传输机构的角度。
10.根据权利要求1所述的一种具有加热和真空吸附的输送线,其特征在于:所述从动传输机构包括手动阀、调压阀、手滑阀、气缸、浮动接头、滑板、滑轨、从动轮、轴承、轴承固定板;
所述手动阀、调压阀和手滑阀顺次相连;所述气缸的输入端与所述手动阀相连通,其输出轴与所述浮动接头相连;所述浮动接头还与固定于滑轨上的所述滑板相连;所述从动轮两端的通过轴承与所述轴承固定板相连;所述轴承固定板与所述滑板相连;
当所述手滑阀被打开后,使用所述调压阀调整气体压力,然后打开所述手动阀给气缸通气;所述气缸的输出轴带动所述浮动接头运动,进而驱动滑板沿着滑轨运动,同时带动轴承固定板和从动轮运动,调整从动轮与主动传输机构之间的相对距离,改变传送带的张紧状态。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造