[实用新型]一种晶圆外观检查治具

说明书

本实用新型涉及半导体技术领域，具体公开了一种晶圆外观检查治具。晶圆外观检查治具包括机座、晶圆盘和检查灯组件。本实用新型提供的晶圆外观检查治具，晶圆盘上用于放置待测晶圆，检查灯组件为待测晶圆的检查提供检查用灯光，晶圆盘能相对底座转动，进而带动待测晶圆转动，底座能相对机座呈夹角转动，以调整待测晶圆倾斜的角度，进而实现了对待测晶圆周向360°和不同倾斜角度的检查，通过本实用新型提供的晶圆外观检查治具既能有效检查待测晶圆表面，又能降低在检查晶圆时发生掉落、磕碰、划伤等风险。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种晶圆外观检查治具。

背景技术

硅基OLED的关键原材料是晶圆背板，晶圆的质量对硅基OLED的成品质量至关重要。

一般来料后需要对晶圆外观进行检验，包括其表面脏污、刮伤、异物等不良。检查晶圆外观可使用专门的AOI设备，但由于用于晶圆检测的AOI设备价格十分昂贵，对于一般将晶圆作为原料的厂家进行配置的必要性不大。还有一种可行的方式是人工检查，但是在此过程中，为了避免污染晶圆，操作人员需要使用晶圆夹夹起晶圆，在光照下检查。而晶圆只有边缘部分为非电路区，故晶圆夹只能夹取边缘位置。由于力通过晶圆夹传导致晶圆，在检查中晶圆易掉落。并且在检查过程中，需要不断上下倾斜晶圆，不断转动晶圆，从而对其各个角度和位置检查，达到较好检查效果，此过程中存在晶圆掉落、磕碰、划伤等风险。

因此，亟需提供一种晶圆外观检查治具以解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆外观检查治具，降低了在检查晶圆时发生掉落、磕碰、划伤等风险。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种晶圆外观检查治具，包括：

机座，所述机座上设有底座，所述底座的一端与所述机座转动连接，所述底座能与所述机座呈夹角设置；

晶圆盘，所述晶圆盘的一侧与所述底座背离所述机座的一侧转动连接，所述晶圆盘的另一侧设有用于固定待测晶圆的定位件；

检查灯组件，设置于所述机座上，且置于所述晶圆盘的上方。

作为上述的晶圆外观检查治具的一种优选技术方案，所述底座上设有定位柱，所述晶圆盘上设有定位槽，所述定位柱可转动设置于所述定位槽内。

作为上述的晶圆外观检查治具的一种优选技术方案，所述定位槽内设有轴承，所述轴承的外圈与所述定位槽的槽壁连接，所述轴承的内圈与所述定位柱连接。

作为上述的晶圆外观检查治具的一种优选技术方案，所述定位件包括沿所述晶圆盘周向且间隔设置的多个定位块，多个所述定位块围成的区域面积等于所述待测晶圆的面积。

作为上述的晶圆外观检查治具的一种优选技术方案，所述定位块的顶部设有由顶部向下倾斜的导向斜面，且所述导向斜面朝向多个所述定位块围成的区域设置。

作为上述的晶圆外观检查治具的一种优选技术方案，所述底座的另一端与所述机座之间连接有伸缩件，所述伸缩件能使所述底座与所述机座呈夹角设置。

作为上述的晶圆外观检查治具的一种优选技术方案，所述伸缩件包括多节伸缩杆，所述伸缩杆的一端与所述底座连接，所述伸缩杆的另一端与所述机座连接，所述伸缩杆相邻的两节杆在伸出位置处设有锁定件。

作为上述的晶圆外观检查治具的一种优选技术方案，所述检查灯组件包括灯架，所述灯架的一端套接于所述机座上，且在所述机座上的高度可调节，所述灯架的另一端设有检查灯。

作为上述的晶圆外观检查治具的一种优选技术方案，所述机座上沿高度方向设有外螺纹，所述灯架的一端设有内螺纹，所述灯架与所述机座螺纹连接。