[实用新型]一种晶圆外观检查治具

权利要求书

1.一种晶圆外观检查治具，其特征在于，包括：

机座(1)，所述机座(1)上设有底座(2)，所述底座(2)的一端与所述机座(1)转动连接，所述底座(2)能与所述机座(1)呈夹角设置；

晶圆盘(3)，所述晶圆盘(3)的一侧与所述底座(2)背离所述机座(1)的一侧转动连接，所述晶圆盘(3)的另一侧设有用于固定待测晶圆的定位件(4)；

检查灯组件(5)，设置于所述机座(1)上，且置于所述晶圆盘(3)的上方。

2.根据权利要求1所述的晶圆外观检查治具，其特征在于，所述底座(2)上设有定位柱(21)，所述晶圆盘(3)上设有定位槽(31)，所述定位柱(21)可转动设置于所述定位槽(31)内。

3.根据权利要求2所述的晶圆外观检查治具，其特征在于，所述定位槽(31)内设有轴承，所述轴承的外圈与所述定位槽(31)的槽壁连接，所述轴承的内圈与所述定位柱(21)连接。

4.根据权利要求1所述的晶圆外观检查治具，其特征在于，所述定位件(4)包括沿所述晶圆盘(3)周向且间隔设置的多个定位块(41)，多个所述定位块(41)围成的区域面积等于所述待测晶圆的面积。

5.根据权利要求4所述的晶圆外观检查治具，其特征在于，所述定位块(41)的顶部设有由顶部向下倾斜的导向斜面(42)，且所述导向斜面(42)朝向多个所述定位块(41)围成的区域设置。

6.根据权利要求1所述的晶圆外观检查治具，其特征在于，所述底座(2)的另一端与所述机座(1)之间连接有伸缩件(6)，所述伸缩件(6)能使所述底座(2)与所述机座(1)呈夹角设置。

7.根据权利要求6所述的晶圆外观检查治具，其特征在于，所述伸缩件(6)包括多节伸缩杆，所述伸缩杆的一端与所述底座(2)连接，所述伸缩杆的另一端与所述机座(1)连接，所述伸缩杆相邻的两节杆在伸出位置处设有锁定件。

8.根据权利要求1所述的晶圆外观检查治具，其特征在于，所述检查灯组件(5)包括灯架(51)，所述灯架(51)的一端套接于所述机座(1)上，且在所述机座(1)上的高度可调节，所述灯架(51)的另一端设有检查灯(52)。

9.根据权利要求8所述的晶圆外观检查治具，其特征在于，所述机座(1)上沿高度方向设有外螺纹，所述灯架(51)的一端设有内螺纹，所述灯架(51)与所述机座(1)螺纹连接。

10.根据权利要求1所述的晶圆外观检查治具，其特征在于，所述晶圆盘(3)的材料为防静电材料。