[实用新型]一种用于电镀设备的阴极滚轮有效
申请号: | 202220135028.6 | 申请日: | 2022-01-19 |
公开(公告)号: | CN217479572U | 公开(公告)日: | 2022-09-23 |
发明(设计)人: | 邵玉林;张三洋;张雷 | 申请(专利权)人: | 广州三孚新材料科技股份有限公司;无锡琨圣智能装备股份有限公司 |
主分类号: | C25D17/00 | 分类号: | C25D17/00 |
代理公司: | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人: | 吴忠义 |
地址: | 510000 广东省广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 电镀 设备 阴极 滚轮 | ||
本实用新型提供了一种用于电镀设备的阴极滚轮,包括滚轮主体,滚轮主体的两端连接有滚轮轴,滚轮主体的两端设置有固定座,滚轮轴与同侧固定座旋转连接,任一滚轮轴的端部穿出至同侧固定座的外侧并套接有传动齿轮,任一滚轮轴设置有电极端子;滚轮主体上设置有绝缘凹槽组,绝缘凹槽组包括间隔设置的两个环状凹槽,每个环状凹槽内设置有绝缘填充物。本实用新型提供的用于电镀设备的阴极滚轮,在对应硅片侧边的位置开槽并添加绝缘层,避免硅片侧边电镀上金属层,有效防止上下电极导通而产生电镀不均,同时对阴极滚轮的表面结构进行改进,减少阴极滚轮与硅片的接触面积,减轻金属电极会反镀到阴极滚轮上的情况。
技术领域
本实用新型涉及一种阴极滚轮,尤其涉及一种用于电镀设备的阴极滚轮。
背景技术
传统太阳能电池电极的制备普遍采用丝网印刷技术,存在设备成本高、能耗高、浆料昂贵等问题,目前业内在大力开发链式电镀设备用于电极的制备,链式电镀设备的原理为:硅片放置于滚轮上通过转动的滚轮进行传动,下表面浸没在槽内电镀液内,下槽电镀液连接下阳极,滚轮为金属导电滚轮连接阴极,形成下电镀回路,硅片上表面喷淋有电镀液并连接上阳极,硅片上下表面的电解液均能形成电镀回路可以实现硅片上下电极的同时制备。
但是目前链式电镀设备普遍存在两个问题:
1、硅片侧边在电镀过程中接触药液会电镀上金属层导致上下电极导通电镀不均;
2、硅片下表面电镀上的金属电极会反镀到阴极滚轮上。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服现有的缺陷,提供一种用于电镀设备的阴极滚轮,解决目前链式电镀设备存在硅片侧边在电镀过程中接触药液会电镀上金属层导致上下电极导通电镀不均以及硅片下表面电镀上的金属电极会反镀到阴极滚轮上的问题。
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:
一种用于电镀设备的阴极滚轮,包括滚轮主体,所述滚轮主体的两端连接有滚轮轴,所述滚轮主体的两端设置有用于固定滚轮主体位置的固定座,每个所述滚轮轴与同侧所述固定座旋转连接,任一所述滚轮轴的端部穿出至同侧所述固定座的外侧并套接有传动齿轮,任一所述滚轮轴设置有电极端子;所述滚轮主体上设置有至少一个绝缘凹槽组,每个绝缘凹槽组包括间隔设置的两个环状凹槽,同一所述绝缘凹槽组内的两个所述环状凹槽的内缘距离小于硅片的宽度,同一所述绝缘凹槽组内的两个所述环状凹槽的外缘距离大于硅片的宽度,每个所述环状凹槽内设置有绝缘填充物。
进一步地,所述滚轮主体的外表面为平滑表面。
进一步地,所述滚轮主体的外表面为连续螺纹表面。
进一步地,所述连续螺纹表面的螺纹槽形状为V型或U型。
进一步地,所述滚轮主体的外表面为间隔式环状槽表面。
进一步地,所述间隔式环状槽表面的环状槽形状为矩形或U型。
进一步地,所述滚轮主体的内部设置为空腔,所述滚轮主体的外表面均布有与所述空腔连通的气孔,所述空腔连接有气体供给装置。
进一步地,所述滚轮主体的外表面设置有电刷,所述电刷的材质为柔性导电材质。
进一步地,所述滚轮主体、滚轮轴和传动齿轮一体制成或所述滚轮主体和滚轮轴一体制成并与所述传动齿轮可拆卸连接。
进一步地,所述滚轮主体的外表面进行喷砂处理;所述绝缘填充物的材质为PFA、PVDF、PP、PEEK中的任意一种。
本实用新型一种用于电镀设备的阴极滚轮,在对应硅片侧边的位置开槽并添加绝缘层,避免硅片侧边电镀上金属层,有效防止上下电极导通而产生电镀不均,同时对阴极滚轮的表面结构进行改进,减少阴极滚轮与硅片的接触面积,减轻金属电极会反镀到阴极滚轮上的情况。
附图说明
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